技术编号：9415305
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。薄膜压力传感器被称为第三代压力传感器，它具有精度高、工作温度范围宽、稳定性好、可靠性高等优点，在军工、石化、机械、冶金、交通等许多领域得到应用。现有的薄膜压力传感器如图1所示，顺次包括弹性体1，电路板支架3，转换电路板4组成。所述的现有技术薄膜压力传感器的弹性体I的加工工艺主要有研磨抛光、镀膜、光亥IJ。研磨抛光工艺是采用机械的办法一次性不多于150个所述弹性体I同时进行，完成全部研磨抛光工作需要约8小时。镀膜工艺一次性只能对100个左右已研磨抛光合格的所...
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