技术编号：9470702
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着投影式光刻机工作波长不断减小、数值孔径不断增大，其对调焦调平传感器 的测量精度要求也日益严苛。目前高端光刻机调焦调平传感器的测量光学系统普遍采用SC 结构的双远心光路，其测量量程为 其中d为精测光斑在测量方向上的宽度，0为光轴与投影光斑所在平面、硅片面 或探测光斑所在平面法线的夹角。 图1所示的是专利CN103365103A中采用的调焦调平传感器的测量原理图，该图的 各个部件详细说明请参考该专利，其中，照明光学系统1将投影狭缝3上的测量光斑照亮后 经...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。