技术编号：9474794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS技术可以用来实施各种器件，例如传感器和声学致动器。例如，在MEMS压力传感器中，小的隔膜位移可以相对于参考电极被电容性地感测，并且在MEMS微型扬声器中，隔膜可以由两个定子之间的静电驱动而被静电地致动从而提供大的冲程位移。发明内容根据一个实施例，一种MEMS器件包括具有贯穿其中的空腔的支撑，以及在所述支撑的空腔上方延伸的隔膜，其中所述隔膜至少部分地由石墨烯加固。根据另一个实施例，一种用于制造MEMS器件的方法包括提供具有贯穿其中的空腔的支撑，提供在...
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