技术编号:9508188
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及一种薄膜体声波谐振器(FBAR或TFBAR,thin-film bulk acousticresonator)。背景技术FBAR是一种半导体器件,主要包括夹在两个电极之中的压电材料,三者构成三明治结构。FBAR常用于制作手机等无线设备中的射频滤波器,所述滤波器由一组FBAR构成,例如采用半梯形(half-ladder)、全梯形(full-ladder)、晶格(lattice)、堆叠(stack)等拓扑结构,用来滤除无用频率同时允许特定频率通过。F...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。