技术编号：9535938
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。真空卡盘(chuck)是一种常见的工业设备，其工作原理在相对于被吸附物的吸附垫的表面由真空泵对背面一侧进行减压，并经由与背面和表面连通的贯通孔而吸附并保持被吸附物。例如，在半导体加工领域，通常使用真空卡盘来吸附或抓取晶圆。另外，用于抓取晶圆的真空卡盘往往还需要具备高速旋转功能，以满足电镀、抛光等工艺的需求。但是，在实现高速旋转时，往往又由于旋转而导致密封不足，无法满足抽真空的需要。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种真空卡盘，能够在提供高速旋转功能的同...
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