技术编号：9546306
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。制造半导体等时使用的曝光装置的照明使用例如紫外线。因此，在曝光装置的照明中，将以高压放电灯为代表的灯组合多个使用。另外，该曝光装置使用作为接收来自多个灯的光来提高该光的均一1性的透镜体的积分器(integrator)。这样的灯采用与曝光装置中寻求的光量相对应的能力的灯，但在要以一个灯满足该能力的情况下(即“1灯式的情况”)，万一因故障等而不能从该灯射出光，则必须要中断曝光作业本身。因此，通常进行的是使用容量较小的多个灯使之能够供给曝光装置所要求的光量(例如...
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