技术编号：9549428
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体晶圆测试领域中，晶圆预对准工作是后续测试工作的前提，对准失败或者误差不能满足要求，会直接导致后续测试工作失败，造成人力物力的极大浪费。而随着芯片尺寸越来越小，传统人眼对准或借助显微镜对准方式在精度和速度上都难以满足生产要求。特别地，针对二极管晶圆测试过程中，很多二极管晶圆厂家生产的晶圆没有切边或缺口，无法通过检测切边或缺口来完成晶圆预对准工作。发明内容针对这种情况，本发明提供了一种半导体晶圆自动定位装置，通过相机采集晶圆图像，对图像进行二值化处理后，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。