技术编号：9549635
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。扩散炉在在太阳能光伏行业中主要用于太阳能电池pn结的制备，通过在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，形成不同的电特性区域。目前传统的太阳能生产线主要采用P型硅片，通过磷扩散制备η型层，从而形成pn结，构成太阳电池的主体结构。随着太阳能电池光电转换效率的要求越来越高，扩散工艺正向两方面发展。一是对磷扩散工艺进行改进，使P型太阳电池向浅结高方阻方向发展；二是对硼扩散工艺的探索，由于P型电池效率...
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