技术编号：9563819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在现有技术中，已知有高精度地控制彼此相对的一对基板间的间隙尺寸的装置 (例如，参照专利文献1)。 该专利文献1所记载的装置是用于控制法布里-珀罗标准具（波长可变干涉滤波 器）中一对反射膜间的间隙尺寸的装置。在该装置中，波长可变干涉滤波器中设置有控制 基板间的间隙尺寸的静电致动器、和用于检测基板间的间隙尺寸的电容电极。另外，设置有 控制静电致动器的控制电路、和检测电容电极间的静电电容的静电电容检测电路。并且，控 制电路根据通过静电电容检测电路检测出的静电电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。