技术编号:9564073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种生产系统,该生产系统通过多个处理装置对处理对象物实施规定的处理来生产多种产品。背景技术以往,公知了对处理对象物实施规定的处理来生产半导体等产品的生产系统(例如,参照专利文献1)。专利文献1中所记载的生产系统具有存放处理对象物的托架和对处理对象物进行处理的多个制造装置。托架具有存储有与所生产的产品相应的信息的标识码托架。各制造装置具有标识码读写装置,所述标识码读写装置对存储在标识码托架中的信息进行读取和更新,并且,在各制造装置中存储有工序工艺(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。