技术编号:9632506
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。PSS (Patterned Sapphire Substrate,图形化蓝宝石衬底)是在蓝宝石衬底上利用光刻、刻蚀等工艺,形成具有图形化表面的蓝宝石衬底。图形化衬底一方面能够有效降低外延结构层的位错密度,提高外延材料的晶体质量和均匀性,进而能提高发光二极管的内量子发光效率,另一方面,由于图形结构增加了光的散射,改变了发光二极管的光学线路,进而提升了出光几率。发明内容本发明提出一种图形化蓝宝石衬底及采用该衬底的发光二极管的制作方法,其制作的图形化蓝宝石衬底...
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