技术编号：9647721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及容纳半导体晶片、光掩模用的玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、光盘用基板等(以下仅称为“基板”)的基板容纳容器、能够应用于该基板容纳容器的加载端口(load port)装置以及基板处理装置。背景技术以往，存在将基板以两种方式支撑的基板容纳容器(例如在日本特开2007-227941号公报公开)。该基板容纳容器具有框体、盖、搁板和缓冲器(cush1n)。框体能够容纳多个基板。盖相对于框体能够装卸。搁板和缓冲器设置在框体的内部。搁板以基板的下表面与搁板...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。