技术编号：9689151
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及半导体，特别涉及一种。背景技术 微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)是一种先进的制造技术 平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、 腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，随着半导体技术的不断发展，微机电系统也得到了 迅速发展。MEMS振荡器由于其集成度高，性能稳定，得到了广泛的发展和应用。 在形成MEMS振荡器的过程中，会形成如图1所述的半导体结构。 请参考...
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