技术编号:9689243
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate,以下简称PSS)是目前较为主流的提高LED器件出光效率的衬底,通常采用干法刻蚀技术对存在掩膜图形的蓝宝石衬底进行刻蚀,以得到图像化的蓝宝石衬底。在进行PSS刻蚀工艺的过程中,为了提高单次工艺的产能,通常采用托盘承载多个基片并传送至反应腔室内的静电卡盘上,以能够同时对多个基片进行工艺加工。图1为现有的托盘的结构示意图。请参阅图1,托盘10包括托盘本体11和位于托盘本体11上的陶瓷体1...
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