技术编号：9689417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 以液晶显示装置为代表的形成在玻璃衬底等的平板上的薄膜晶体管使用非晶硅、 多晶硅制造。使用非晶硅的薄膜晶体管具有如下特性虽然其场效应迀移率低，但是可以对 应于玻璃衬底的大面积化。另一方面，使用结晶硅的薄膜晶体管具有如下特性虽然其场效 应迀移率高，但是需要进行激光退火等的晶化工序，因此其不一定适合于玻璃衬底的大面 积化。 另一方面，使用氧化物半导体制造薄膜晶体管，并将其应用于电子装置和光装置 的技术受到注目。例如，专利文献1及专利文献2公开作为氧化物半导体膜...
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