技术编号：9693380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用于通过电磁辐射将结构从衬底分离的方法、用于通过电磁辐射将结 构从衬底分离的堆叠(emp i 1 ement)以及分离组件。背景技术 现有技术已知的（尤其是在文献US 2002/0068201 A1(下称D1)中已知的）用于通 过属于一定的光谱范围的电磁辐射将结构从衬底分离的方法包括下列步骤 a)提供衬底，该衬底在所述光谱范围中是透明的， b)在衬底上形成至少一个分离层，将该电磁辐射的光谱范围调整为使得分离层在 所述光谱范围中是吸收性的(abs...
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