技术编号：9707559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前的激光干涉光刻系统使用玻璃分束器在自由空间中将原始的相关激光束进行分束。最初的激光束和分束后的激光束通常都在自由空间中传播。这种光学装置需要非常耗时的精确对准。改变干涉图案、尤其是改变周期要求整个光学装置的重新对准。此外，激光在自由空间中传播易受诸如空气流或空气波动之类的环境微扰。干涉光刻是一种在覆盖大面积的阵列亚微米结构进行构图的技术。将两束或多束相干光波的干涉记录到光致抗蚀剂上来产生多种规则周期性图案的结构，包括光栅、孔洞、柱、锥体和格子。当将相干...
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