一种闪存器件的制作方法技术资料下载

技术编号:9709926

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闪存(Flash memory)是基于EPROM和EEPR0M发展起来的一种新型非挥发性半导体存储器,它具有价格便宜、工艺相对简单、可方便快速的进行多次擦写的特点,自问世以来,闪存在存储领域得到了广泛的应用,主要应用于便携式设备及嵌入式系统中。Nor flash依靠热电子注入的方式来存储数据,即电子在沟道中被漏端和源端的横向电场加速,在漏端附近形成热电子,通过声子散射,在栅极纵向电场的作用下,部分电子会通过隧穿氧化层,注入到浮栅中,器件的阈值电压随之改变,...
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