技术编号：9732201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。随着微电子技术向更高的性能发展，器件尺寸在缩小，这在制造最佳性能的器件特征时成为难题。例如，由于接触面积的代际减小，尺寸缩小增大了多晶硅电阻器的接触电阻。高接触电阻可以引起多晶硅电阻器的更大电阻变化和减小的电阻温度系数(TCR)。另外，随着器件架构变得更为直立，例如在三维晶体管结构的情况下，例如FINFET，或者其他多栅晶体管器件，电阻器结构的接触面积的缩小变得更为重要。附图说明尽管说明书作出了结论，权利要求书特别指出并明确要求了特定实施例，但在结合附图阅...
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