技术编号：9760406
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。航空发动机压气机叶片及涡轮叶片在制造和使用过程中，叶片进排气边为缺陷、故障高发区。缺陷、故障尺寸较小时，需在扫描电镜下对缺陷、故障部位放大几百甚至上千倍进行检测，一般使用蔡司EVO 60扫描电镜检测时的夹具为圆形平面载物台，以往出现此类情况，必须对叶片进行切割后检测，由于航空发动机叶片为低合格率、高价值零件，叶片破坏后检测，对伪缺陷叶片造成了不可修复的损伤，增加了生产制造成本。发明内容为解决上述技术问题，本发明提供了一种扫描电镜检测叶片辅助装置，该扫描电镜...
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