技术编号：9761364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-Systems,简称MEMS)是利用微细加工技术在芯片上集成传感器、执行器、处理控制电路的微型系统。MEMS的高度集成组件通常需要在半导体衬底中形成空腔，并在空腔上方形成一端固定在半导体衬底上另一端悬空的悬臂粱，所述悬臂梁还与其他元器件连接。如在MEMS电容器件中，所述空腔的上方还形成有与所述悬臂梁相对的电容片，MEMS使用过程中，所述电容片和悬臂梁组成电容器的两个电极板，并且悬臂梁可以上下振动...
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