技术编号：9762475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微波等离子体化学气相沉积，尤其涉及一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩。技术背景目前，在中等功率运行下的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置，还在广泛的应用，此类装置的优点在于，石英钟罩腔室清理方便，并且石英钟罩容易更换。但是为了提高沉积速率和品质，需适当提高微波输入的功率，有时为了获得较厚的试样，需要延长单次处理时间，这样会导致石英钟罩温度升高，尤其是石英钟罩上端的半球形封口，腔室内的活性基团易于在半球形石英封口内表面沉积，会干扰微...
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