微微级测试泄漏装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9769078

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测试泄漏装置包括被用测试气体填充的壳体,并且设有具有预设的已知泄漏速率的泄漏处,所述测试气体通过所述泄漏处逸出到外界。气体泄漏探测器的功能或精度可以通过检测从测试性泄漏处逸出的气体来测试。欧洲专利EP0742894B1描述了一种测试泄漏装置,其设有毛细管,所述毛细管可达到相对较低的约为10—7HIbar.Ι/s或稍多的泄漏速率。这类毛细管不能被制造得无限小,因为它们很快将被空气中的湿气堵塞,而后变得无法使用。直到现在,用已知的测试泄漏装置达到10—12Hi...
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