技术编号：9800597
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统由于其体积小、稳定性高等诸多优点已经在许多领域引发了一场微小型化革命。近年来，微机电系统的应用已经延伸到信息技术、医疗设备、军工和电子设备等领域中，已经成为世界各国研究的重点。传统的微平台调节装置一般采用齿轮、丝杠、杠杆等机械传动，存在摩擦、损耗等原因使得位移调节存在较大误差，已经越来越不适于应用在微机电系统。而对于压电驱动、电磁驱动、电热等驱动装置由于受到其高功耗、环境影响较大等因素，也存在适应性不足等缺陷。因此，目前急需一种结构简单、小型化、...
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