技术编号：9812596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 面对全球能源危机，太阳能光伏发电技术已经成为半导体行业的新的发展热点。 晶娃太阳能电池制造分为制绒/清洗、扩散、刻蚀/后清洗、PECVD锻膜、丝网印刷、烧结、测试 分选等工序。 对于晶体娃太阳能电池管式PECVD(等离子增强化学气相沉积技术)氮化娃薄膜沉 积技术，采用氨气和硅烷作为等离子反应气体源，采用石墨舟片做为娃片的承载板和射频 电极，常规的PECVD工艺运行一舟需要31min左右，产量较低，随着前道工序产能的提升， PECVD工序成为产能瓶颈，必须...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。