技术编号：9819735
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微系统传感领域，特别涉及一种在低温共烧陶瓷(LTCC)基板上实现光子微流检测芯片。技术背景光学检测方法是指在功能结构中应用光子作为信号载体对外界物理量进行传感的方法。与传统电子信号传感相比具有传输损耗小、抗电磁干扰性能强等优点。因此，基于光子传感的检测技术在学术界和产业界都得到广泛关注。微流控传感芯片可在很小的芯片上实现物质的快速传感。其芯片整体尺寸为厘米量级，芯片内部的流体通道网络为微米量级。在传感与检测应用中，相比于宏观实验中试剂消耗量大、危...
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