技术编号：9827200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。指纹感测装置(finger print sensor)或射频感测装置(RF sensor)需利用平坦的感测面来侦测信号。若感测面不平整，会影响感测装置侦测时的准确度。举例来说，当指头按压于指纹感测装置的感测面时，若感测面不平整，将难以侦测到完整的指纹。此外，上述的感测装置在制作时，会先于晶圆中形成娃穿孔(Through SiliconVia ；TSV)，使焊垫从娃穿孔裸露。接着，会以化学气相沉积法(Chemical VaporDeposit1n ;CVD)...
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