技术编号：9843202
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。普通光栅由于半导体加工工艺的需要，多使用硅、二氧化硅或其它氧化物、氮化硅或其它氮化物等无机材料制作，制成后的光栅在一般工作条件下，其栅距是固定的，只工作于特定波长范围。由于光栅本身无法改变工作波长，当需要对不同的光进行选择时，需要更换不同的光栅。与普通光栅不同，可调光栅可以通过改变周期来选择不同波长的光或将某一波长的光偏转不同的角度，在微型光谱仪、扫描仪、光通信等领域应用广泛。目前可调光栅的基本调谐方式有机械调谐、电流调谐和温度调谐。机械调谐是利用平移台等...
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