技术编号：9856216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了减少污染及提高产量，半导体产业常利用搭载机械手臂的取物装置来搬运工作件，例如硅晶圆或其它电子芯片等，藉此以便进行后续的加工或是电性测试。—般而言，取物装置的机械手臂固定于一底座上，并且通过马达传动直线导轨以控制机械手臂沿垂直方向的行程大小。当使用者要调整机械手臂沿垂直方向的位置时，需同时移动机械手臂整体以改变机械手臂的位置。然而，习知机械手臂通过搭载大量外部构件以连接于马达，使得机械手臂整体重量过大。此外，马达驱动直线导轨重量较大的机械手臂整体时，容易...
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