技术编号：9872367
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻设备是一种将所需图案应用到衬底或衬底的一部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(ICs)、平板显示器和具有精细特征的其他器件或结构的制造中。在传统的光刻设备中，可以将可称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成与1C、平板显示器或其他器件的单个层相对应的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片或玻璃板)(的一部分)上，这例如通过把图案成像到提供到衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上进行。代替电路图案，图案形成装置可以被用于生成其他图案，例如彩色...
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