技术编号：9878548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。类石墨碳膜作为非晶碳膜的一种，它是指以sp2杂化碳键的一类碳基薄膜的统称，类石墨碳膜具有热稳定好、承载能力高的特点，但采用传统磁控溅射方法制备的类石墨碳月旲具有尚脆性，尚残余应力、尚温润滑性差及结合力差等缺陷。发明内容为了克服上述现有技术的缺陷，本发明的目的是提供，在溅射靶材中加入不同含量的改性元素，有效降低了类石墨碳膜的摩擦系数，提高了类石墨碳膜的承载能力和高温耐磨性能。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是—种磁控溅射含银超低摩擦系数类石墨碳膜的制...
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