提高动态雪崩抗性的功率二极管的制作方法技术资料下载

技术编号:9889981

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功率二极管作为功率器件家族一员,一直在许多领域扮演重要角色,如斩波、开关、逆变等。伴随着功率二极管不断向高压器件发展,其可靠性也需要越来越多的关注。FRD(快速恢复二极管)关断时,空穴从阳极抽出,当空穴运动到阳极的空间电荷区时,因空穴的带电极性同空间电荷区内部电离施主的带电极性相同,使得此区域的有效掺杂浓度Neff提高,电压在低于静态击穿电压(BV)时发生击穿,称为动态雪崩。提高衬底掺杂浓度虽然可以降低空穴电流对有效掺杂浓度Nrff的影响,但也会造成静态击...
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