切断夹具用滚动支撑装置的制作方法

文档序号:11478641阅读:297来源:国知局
切断夹具用滚动支撑装置的制造方法

本实用新型属于单晶生产设备技术领域,具体涉及一种切断夹具用滚动支撑装置。



背景技术:

在单晶硅生产过程中,需要将晶棒放置在切断夹具上再固定后进行切割,由于晶棒自身重量,使得切断夹具在相向移动的装夹过程中,驱动丝杠受力较大容易磨损;现有的切割夹具但是现有的切断夹具上有一个凹槽,在晶棒移动过程中容易造成磕碰和崩边;而且晶棒在夹具上沿其轴向移动时,属于滑动摩擦,导致操作不但费时费力,而且工作效率低下。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种切断夹具用滚动支撑装置,解决了现有的切断夹具装夹晶棒存在的容易对自身结构和晶棒造成损坏的缺点。

本实用新型所采用的技术方案是:切断夹具用滚动支撑装置,包括支撑座以及对称固定于支撑座上的两个滚动件,两个滚动件呈V字形分布,两个滚动件的表面与晶棒的侧面相接触用于承载晶棒的重量。

本实用新型的特点还在于,

滚动件为滚动轴承。

滚动件的外表面还包设有尼龙套。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的切断夹具用滚动支撑装置解决了现有的切断夹具装夹晶棒存在的容易对自身结构和晶棒造成损坏的缺点。本实用新型的一种切断夹具用滚动支撑装置利用V字形结构的两个滚动件支撑晶棒,大大减轻了驱动夹具相向运动的驱动丝杠的受力,而且在晶棒的装夹过程中可实现晶棒的自动对中;滚动件可将晶棒移动时的滑动摩擦变为滚动摩擦,不但大大降低了晶棒破损的几率,而且降低了工作人员的劳动强度。

附图说明

图1是本实用新型的切断夹具用滚动支撑装置的立体结构示意图;

图2是图1的结构主视图;

图3室本实用新型的切断夹具用滚动支撑装置的使用状态图。

图中,1.支撑座,2.滚动件,3.晶棒,4.夹具底座,5.装夹组件。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的切断夹具用滚动支撑装置的结构如图1和图2所示,包括支撑座1以及对称固定于支撑座1上的两个滚动件2,两个滚动件2呈V字形分布,两个滚动件2的表面与晶棒3的侧面相接触用于承载晶棒3的重量。

事例性的,滚动件2可以为滚动轴承。

优选的,为了防止晶棒3移动时发生打滑现象,可以滚动件2的外表面包设一层尼龙套增加滚动件2与晶棒3之间的摩擦力。

本实用新型的切断夹具用滚动支撑装置的使用状态如图3所示,切断夹具包括夹具底座4以及固定于夹具底座4上相对设置的两排装夹组件5,两排装夹组件5由驱动丝杠驱动向中心位置运动,多个本实用新型的切断夹具用滚动支撑装置固定于晶棒的装夹位置,即两排装夹组件5的中间位置。使用时,将晶棒3放置于多个呈V字形对称分布的滚动件2上,滚动件2的表面与晶棒3的侧面相接触,晶棒3会自动位于对中位置,然后由驱动丝杠驱动两排装夹组件5相向运动夹持住晶棒3进行切割,由于切割装置不再受力,因此驱动丝杠的驱动力大大减小,从而减轻了驱动丝杠磨损,提高了切割夹具的使用寿命;需要移动晶棒3时,松开装夹组件5,推动晶棒3沿其轴线移动,由于滚动件2可绕自身轴线转动,因此将晶棒3移动方式由之前的滑动摩擦改为了滚动摩擦,大大减轻了工作人员的劳动强度,同时也减少了晶棒3的磨损程度及破损概率。

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