一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置的制作方法

文档序号:12012768阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置,用于安装晶棒,其特征在于,所述单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置包括工作台头座、工作台尾座、气缸安装座、气缸、支架、导向衬套;

所述支架为“7”字型支架,支架的下端安装在单晶硅棒线开方机的开方机底座上,支架上端横杆的中部打有通孔;所述气缸安装座为筒形安装座,气缸安装座安装在支架上端横杆的中部通孔中,气缸安装在气缸安装座的上端,导向衬套安装在气缸安装座的下端;

所述工作台尾座包括尾座浮动接头、尾座连接轴;所述尾座连接轴安装在导向衬套的孔内,用于增强工作台尾座刚度;尾座连接轴的上端能通过导向衬套和气缸的活塞杆连接,尾座连接轴的下端与尾座浮动接头连接,并保证工作台尾座和气缸同心连接;尾座浮动接头能在气缸的驱动下压紧晶棒上端面,实现对晶棒的固定;

所述工作台头座通过法兰安装在开方机底座上,工作台头座包括电机、联轴器、头座连接轴、万向夹头、晶托;所述头座连接轴的下端通过联轴器与电机连接,头座连接轴的上端通过万向夹头连接晶托,使头座连接轴能在电机的驱动下旋转,进而带动晶托旋转;

所述工作台头座、工作台尾座与晶棒沿晶棒长度方向同心安装。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒线开方机工作台夹紧装置,其特征在于,所述晶托上开有四条让线槽,并设有边皮支撑的结构,用于解决崩边和边皮的问题。

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