一种单晶硅多线切割夹紧装置的制作方法

本发明涉及材料加工技术领域，具体为一种单晶硅多线切割夹紧装置。

背景技术：

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法，数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

多线切割在对单晶硅材料进行切割的时候，需要对单晶硅材料进行夹紧，一般的多线切割装置都不具备夹紧机构，这会导致单晶硅材料在切割的时候产生晃动，影响切割的质量，最终导致切割材料的报废，带来不必要的经济损失，为此我们提出一种单晶硅多线切割夹紧装置。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种单晶硅多线切割夹紧装置，具备夹紧稳定，方便操作等优点，解决了一般的多线切割装置都不具备夹紧装置，这会导致单晶硅材料在切割的时候产生晃动，影响切割的质量，最终导致切割材料的报废，带来不必要的经济损失的问题。

(二)技术方案

为实现上述夹紧稳定，方便操作的目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶硅多线切割夹紧装置，包括底板，所述底板的左侧固定安装有连接块，连接块的顶部固定安装有多线切割机，所述底板的顶部固定安装有支撑块，所述支撑块的右侧面活动套装有单晶硅棒，所述单晶硅棒的左端贯穿支撑块并延伸至多线切割机的左侧，所述单晶硅棒的外表面与多线切割机的内部活动连接，所述底板的顶部开设有位于支撑块左侧的凹槽，凹槽的内部设有滑杆，所述滑杆的两端分别与凹槽的两侧固定连接，所述滑杆的外表面活动套装有滑块，所述滑块的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有卡紧箱，所述卡紧箱的内部固定安装有滑动杆，所述滑动杆的外表面活动套装有夹紧板，所述夹紧板的顶部贯穿并延伸至卡紧箱的外部，所述夹紧板的外侧面与卡紧箱的内壁之间固定连接有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧活动套装在滑动杆的外表面，所述夹紧板的底部固定连接有移动块，所述移动块的内侧面活动套装有螺杆，所述螺杆的一端贯穿移动块并延伸至卡紧箱的外部，所述螺杆的外表面与卡紧箱的内部螺纹连接，所述支撑块的顶部固定安装有限位板，所述限位板的数量为两个，且两个所述限位板之间活动套装有l字形杆，所述l字形杆的一端固定连接有卡紧块，卡紧块的底部与单晶硅棒的外表面活动连接。

优选的，所述滑杆的外表面活动套装有收缩弹簧，所述收缩弹簧的两端分别与滑块的右侧面和凹槽的内壁固定连接，所述收缩弹簧的底部与凹槽的底部之间存在间隙。

优选的，所述支撑杆的右侧面固定连接有推拉杆，所述推拉杆的右端贯穿并延伸至支撑块右侧的外部且固定连接有摩擦块，所述推拉杆的外表面与支撑块的内部活动连接。

优选的，所述螺杆的外表面固定套装有限位片，所述限位片的数量为两个，且两个所述限位片分别位于移动块的两侧。

优选的，所述限位板的内侧面之间固定连接有套杆，所述套杆的外表面活动套装有转动块，所述转动块的外表面与l字形杆的一端固定连接。

优选的，所述转动块的两侧面均固定连接有扭簧，所述扭簧的另一端与限位板的内侧面固定连接，所述扭簧活动套装在套杆的外表面。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种单晶硅多线切割夹紧装置，具备以下有益效果：

1、该单晶硅多线切割夹紧装置，通过转动螺杆，螺杆带动移动块在水平方向运动，移动块带动夹紧板运动，从而实现了夹紧板对单晶硅棒进行夹紧，有利于对单晶硅棒进行稳定的移动，进而提高切割件的质量，避免了一般多线切割装置在对单晶硅材料进行移动时，容易导致单晶硅材料的松动，影响多线切割装置的效率。

2、该单晶硅多线切割夹紧装置，通过扭簧受力，使得转动块绕着套杆转动，套杆带动l字形杆转动，l字形杆带动卡紧块运动，从而实现了卡紧块对单晶硅棒的固定，有利于提高切割时单晶硅棒的稳定性，避免了一般的多线切割装置在切割时单晶硅材料发生偏移，导致材料的报废，从而带来经济损失。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明卡紧箱俯视结构示意图；

图3为本发明支撑块俯视结构示意图。

图中：1、底板；2、多线切割机；3、支撑块；4、单晶硅棒；5、滑杆；6、滑块；7、支撑杆；8、卡紧箱；9、滑动杆；10、夹紧板；11、拉伸弹簧；12、移动块；13、螺杆；14、限位板；15、l字形杆；16、收缩弹簧；17、推拉杆；18、限位片；19、套杆；20、转动块；21、扭簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，一种单晶硅多线切割夹紧装置，包括底板1，底板1的左侧固定安装有连接块，连接块的顶部固定安装有多线切割机2，多线切割机2的内部采用的是金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片，底板1的顶部固定安装有支撑块3，支撑块3的右侧面开设了通孔，通孔的大小与单晶硅棒4的大小相互适配，支撑块3的右侧面活动套装有单晶硅棒4，单晶硅棒4的左端贯穿支撑块3并延伸至多线切割机2的左侧，单晶硅棒4的外表面与多线切割机2的内部活动连接，底板1的顶部开设有位于支撑块3左侧的凹槽，凹槽的内部设有滑杆5，滑杆5的外表面活动套装有收缩弹簧16，收缩弹簧16的两端分别与滑块6的右侧面和凹槽的内壁固定连接，收缩弹簧16的底部与凹槽的底部之间存在间隙，滑杆5的两端分别与凹槽的两侧固定连接，滑杆5的外表面活动套装有滑块6，滑块6的顶部固定连接有支撑杆7，支撑杆7的右侧面固定连接有推拉杆17，推拉杆17的右端贯穿并延伸至支撑块3右侧的外部且固定连接有摩擦块，推拉杆17的外表面与支撑块3的内部活动连接，支撑杆7的顶部固定安装有卡紧箱8，卡紧箱8的内部固定安装有滑动杆9，滑动杆9的外表面活动套装有夹紧板10，夹紧板10的顶部贯穿并延伸至卡紧箱8的外部，夹紧板10的外侧面与卡紧箱8的内壁之间固定连接有拉伸弹簧11，拉伸弹簧11活动套装在滑动杆9的外表面，夹紧板10的底部固定连接有移动块12，移动块12的内侧面活动套装有螺杆13，转动螺杆13，螺杆13带动移动块12在水平方向运动，移动块12带动夹紧板10运动，从而实现了夹紧板10对单晶硅棒4进行夹紧，有利于对单晶硅棒4进行稳定的移动，进而提高切割件的质量，避免了一般多线切割装置在对单晶硅材料进行移动时，容易导致单晶硅材料的松动，影响多线切割装置的效率，螺杆13的外表面固定套装有限位片18，限位片18的数量为两个，且两个限位片18分别位于移动块12的两侧，螺杆13的一端贯穿移动块12并延伸至夹卡紧箱8的外部，螺杆13的外表面与卡紧箱8的内部螺纹连接，支撑块3的顶部固定安装有限位板14，限位板14的内侧面之间固定连接有套杆19，套杆19的外表面活动套装有转动块20，转动块20的两侧面均固定连接有扭簧21，扭簧21受力，使得转动块20绕着套杆19转动，套杆19带动l字形杆15转动，l字形杆15带动卡紧块运动，从而实现了卡紧块对单晶硅棒的固定，有利于提高切割时单晶硅棒4的稳定性，避免了一般的多线切割装置在切割时单晶硅材料发生偏移，导致材料的报废，从而带来经济损失，扭簧21的另一端与限位板14的内侧面固定连接，扭簧21活动套装在套杆19的外表面，转动块20的外表面与l字形杆15的一端固定连接，限位板14的数量为两个，且两个限位板14之间活动套装有l字形杆15，l字形杆15的一端固定连接有卡紧块，卡紧块的底部与单晶硅棒4的外表面活动连接，拉动l字形杆15，l字形杆15带动扭簧21运动，扭簧21的反向作用力带动转动块20转动，转动块20带动l字形杆15运动，再将单晶硅棒4穿过支撑块3和多线切割机2，转动螺杆13，螺杆13带动移动块12运动，移动块12带动夹紧板10相互靠近，此时夹紧板10对单晶硅棒4进行夹紧，松开l字形杆15，l字形杆15对单晶硅棒4进行固定，多线切割机2对单晶硅棒4进行切割，当切割完成后，推动推拉杆17，推拉杆17推动支撑杆7运动，将单晶硅棒4推送至多线切割机2的内部，即可。

工作时，拉动l字形杆15，l字形杆15带动扭簧21运动，扭簧21的反向作用力带动转动块20转动，转动块20带动l字形杆15运动，再将单晶硅棒4穿过支撑块3和多线切割机2，转动螺杆13，螺杆13带动移动块12运动，移动块12带动夹紧板10相互靠近，此时夹紧板10对单晶硅棒4进行夹紧，松开l字形杆15，l字形杆15对单晶硅棒4进行固定，多线切割机2对单晶硅棒4进行切割，当切割完成后，推动推拉杆17，推拉杆17推动支撑杆7运动，将单晶硅棒4推送至多线切割机2的内部，即可。

综上所述，该单晶硅多线切割夹紧装置，通过转动螺杆13，螺杆13带动移动块12在水平方向运动，移动块12带动夹紧板10运动，从而实现了夹紧板10对单晶硅棒4进行夹紧，有利于对单晶硅棒4进行稳定的移动，进而提高切割件的质量，避免了一般多线切割装置在对单晶硅材料进行移动时，容易导致单晶硅材料的松动，影响多线切割装置的效率；通过扭簧21受力，使得转动块20绕着套杆19转动，套杆19带动l字形杆15转动，l字形杆15带动卡紧块运动，从而实现了卡紧块对单晶硅棒4的固定，有利于提高切割时单晶硅棒4的稳定性，避免了一般的多线切割装置在切割时单晶硅材料发生偏移，导致材料的报废，从而带来经济损失；解决了一般的多线切割装置都不具备夹紧装置，这会导致单晶硅材料在切割的时候产生晃动，影响切割的质量，最终导致切割材料的报废，带来不必要的经济损失的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。