一种单晶硅棒切片装置的制作方法

文档序号:17205152发布日期:2019-03-27 10:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述切片装置包括工作台、手工取片工装和线锯切割运行机构;

所述工作台上具有线锯让位槽,所述线锯让位槽自工作台顶面向下开设,所述工作台用于放置待切割单晶硅棒;

所述手工取片工装包括磁性表座、万向支臂和切片吸盘,所述万向支臂一端与磁性表座连接,万向支臂的另一端与切片吸盘连接,手工取片工装位于工作台上,所述切片吸盘用于待切片的单晶硅棒的端面;

所述线锯切割运行机构包括机架、线锯切割单元和提升机构,所述线锯切割单元位于工作台的上方,线锯切割单元经由提升机构与机架固定,所述提升机构带动线锯切割单元对单晶硅晶进行加工。

2.根据权利要求1所述单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述切片装置还包括多个滚轮机构,所述多个滚轮机构沿工作台顶面对称设置成两组,滚轮机构在工作台上的位置不与线锯让位槽重叠,所述滚轮机构包括U型滚轮支撑架、连接杆和滚轮,所述U型滚轮支撑架与工作台顶面固定连接,所述滚轮经由连接杆固定在滚轮支撑架的U形槽内,滚轮可绕连接杆转动。

3.根据权利要求2所述单晶硅棒切片装置,其特征在于,两组滚轮机构中滚轮中心线的延长线形成预设夹角β,所述β角为30-60°。

4.根据权利要求1所述单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述切片装置还包括送料机构,所述送料机构包括输送机构和夹持机构,所述输送机构包括输送架和驱动机构,所述驱动机构用于带动输送架沿工作台轴向运动,所述夹持机构包括第一卡爪座、第二卡爪座、卡爪和伸缩件,所述第一卡爪座、第二卡爪座均呈弧形结构,第一卡爪座的一端与伸缩件的一端铰接,第一卡爪座的另一端固定有卡爪,第二卡爪座的一端与伸缩件的另一端铰接,第二卡爪座的另一端固定有卡爪,第一卡爪座与第二卡爪座均通过支撑柱连接输送架,第一卡爪座与第二卡爪座均可绕与支撑柱连接处转动。

5.根据权利要求4所述单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述驱动机构包括伺服电机、传动齿轮和传动齿条,所述传动齿条设置在工作台的侧壁上,所述传动齿轮与传动齿条相啮合,所述伺服电机的输出轴贯穿输送架与传动齿轮连接。

6.根据权利要求1所述的单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述线锯切割运行机构为龙门式环形金刚石线锯切割机构,所述龙门式环形金刚石线锯切割机构包括龙门架、环形金刚石线锯切割单元和提升机构,所述环形金刚石线锯切割单元包括轮系安装面板、导轮组件和环形金刚石线锯,所述环形金刚石线锯布设于导轮组件的导轮线槽中,所述提升机构包括提升电机、提升减速机、提升螺杆和提升螺母,所述提升电机设置于龙门架的横梁上,提升电机经由提升减速机与提升螺杆连接,提升电机用于驱动提升螺杆转动,所述提升螺母套接于提升螺杆上,所述轮系安装面板与提升螺母相固定。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述切片装置还包括移动喷淋机构,所述移动喷淋机构包括移动机构和喷淋机构,所述喷淋机构包括蓄水箱、送水管、喷水箱、限位侧板和挡水毛刷,所述蓄水箱上开设有进水孔,所述送水管连通蓄水箱与喷水箱,所述喷水箱的底板上开设有多个喷水孔,所述喷水孔朝向线锯让位槽,所述喷水箱的前后两侧面上均设置有限位侧板,所述限位侧板的底端具有弧形缺口,喷水箱的左右两侧面上均设置有挡水毛刷。

8.根据权利要求1所述的单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述切片装置还包括伸缩挡水机构,所述伸缩挡水机构包括收卷机构和挡水帘片,所述挡水帘片一端与工作台固定,挡水帘片的另一端卷收在收卷机构内。

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