一种再生晶圆生产用切片装置的制作方法

文档序号:22086430发布日期:2020-09-01 20:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种再生晶圆生产用切片装置,包括基板(20)和内设空腔呈长方体结构的工作台(1),所述工作台(1)的上表面靠近边缘固定有支撑架(3),且支撑架(3)的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁(5),两根所述槽钢横梁(5)之间卡接有同一个矩形滑框(6),所述矩形滑框(6)的中间卡接有开口向下的固定桶(8),且固定桶(8)的桶底卡接有电动推杆二(7),且电动推杆二(7)延伸杆的底端固定有驱动电机(9),其特征在于,所述驱动电机(9)的输出轴顶端固定有转接头,且转接头的底端设置有开口向下呈圆筒状结构的切刀(10),所述切刀(10)的底端边缘处预留有等距离分布的锯齿(1004),且切刀(10)的圆周内壁靠近底端滑动连接有托盘(1002),且托盘(1002)的圆周外壁固定有两个关于托盘(1002)圆心互相对称的拨动杆(1001),切刀(10)的圆周外壁开有两个与拨动杆(1001)相适配的条形孔,所述托盘(1002)的上表面与切刀(10)的顶部内壁之间固定有同一个复位弹簧(1003)。

2.根据权利要求1所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述支撑架(3)的顶端通过螺栓固定有电动推杆一(4),且电动推杆一(4)的延伸杆的端部固定在矩形滑框(6)的外壁上。

3.根据权利要求1所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述工作台(1)的上表面中部开有轴承安装孔,且工作台(1)的底部中间固定有轴承座(22),且轴承座(22)的中间以及轴承安装孔中分别卡接有互相对称的圆锥滚子轴承(21)。

4.根据权利要求3所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,两个所述圆锥滚子轴承(21)之间转动连接有同一根转桶(17),且转桶(17)的圆周外壁靠近顶端固定有限位环(2),且限位环(2)的上表面远离支撑架(3)的一侧焊接有内设空腔呈圆盘状结构的基台(23),基台(23)的内部转动连接有圆盘,且圆盘的上表面固定有铰接板,且铰接板中转动连接有母管(12)。

5.根据权利要求4所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述母管(12)远离铰接点的一端滑动连接有弓形延伸臂杆(11),且两个弓形延伸臂杆(11)远离铰接点的一端均转动连接有压盘(18),母管(12)的下表面与基台(23)的上表面之间固定有拉伸弹簧(13)。

6.根据权利要求4所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述限位环(2)的上表面靠近圆周边缘处开有环形沉槽,且环形沉槽的槽底卡接有限位齿环(16)。

7.根据权利要求6所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述工作台(1)的上表面远离支撑架(3)的一侧通过螺栓固定有l形固定板,且l形固定板的横板端部卡接有内设空腔呈圆柱形结构的定位桶(15)。

8.根据权利要求7所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述定位桶(15)的顶端和底端之间滑动连接有同一根顶杆(14),且顶杆(14)的圆周外壁靠近桶底固定有环形挡圈(1402),环形挡圈(1402)的顶端设置有压缩弹簧(1403),压缩弹簧(1403)的内壁与顶杆(14)的外壁之间留有间隙。

9.根据权利要求8所述的一种再生晶圆生产用切片装置,其特征在于,所述顶杆(14)的底端设置有与限位齿环(16)相适配的锥形齿(1401)。


技术总结
本发明属于晶圆切片技术领域,尤其是一种再生晶圆生产用切片装置,针对现有的切片机在切片过程中容易将切过后的晶圆片卡接在刀片上的问题,现提出以下方案,包括基板和内设空腔呈长方体结构的工作台,所述工作台的上表面靠近边缘固定有支撑架,且支撑架的顶端固定有两根开口相对且互相平行的槽钢横梁,两根所述槽钢横梁之间卡接有同一个矩形滑框,所述矩形滑框的中间卡接有开口向下的固定桶。本发明可以在使用时需要对基板进行切片的时候,只需控制电动推杆二的延伸杆伸长即可带动切刀的底端与基板接触,进而继续下降完成切割,当刀片将切过后的晶圆卡接在内部的时候只需向下拨动两个拨动杆即可将晶圆向下弹出。

技术研发人员:顾骏
受保护的技术使用者:顾骏
技术研发日:2020.04.27
技术公布日:2020.09.01
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