半导体器件生产用的电气元件制造装置的制作方法

1.本发明属于电气元件制造技术领域，更具体地说，特别涉及半导体器件生产用的电气元件制造装置。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在半导体器件的实际生产过程中，就需要用到电气元件制造的装置，来辅助对电气元件进行加工，因为半导体产业的精密性，所以一款好的半导体器件生产用的电气元件制造装置在基板加工过程中就显得尤为重要。
3.例如申请号：cn202110636226.0中涉及半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法，属于半导体制造技术领域，半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括箱体和加工产品，还包括：存放罐和水箱，均位于箱体内；机械手臂，位于箱体顶部；涂抹头，连接在机械手臂的输出端，通过涂抹头对加工产品进行涂抹，涂抹头与存放罐之间通过出料管输送；出料管在输送过程中通过水箱内的热水进行保温；箱体顶部设有带有静电的吸附体；与市场上现有的半导体器件生产用的电气元件制造装置相比，本半导体器件生产用的电气元件制造装置，在涂抹完成后，还可以利用给光刻胶进行保温所产生的水蒸气进行降尘。
4.基于现有技术发现，现有的半导体器件生产用的电气元件制造装置未设置精确吸附定位装置，降低了加工打磨精度，未设置浮动清理出油装置以及静电消除装置，实际加工过程中，碎屑以及切削研磨过程中极易对基板造成二次损伤，增加次品率以及生产成本，同时切削油添加不够精确，造成浪费，未设置密封切削装置，无法在切割过程中不停机的自主调节切削尺寸以及切削路径，使用过程不够灵活。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题，本发明提供半导体器件生产用的电气元件制造装置，以解决现有的半导体器件生产用的电气元件制造装置加工打磨精度低，加工过程中，碎屑以及切削研磨过程中极易对基板造成二次损伤，切削油添加不够精确，造成浪费，无法在切割过程中不停机的自主调节切削尺寸以及切削路径，使用不够灵活的问题。
6.本发明半导体器件生产用的电气元件制造装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
7.半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括运行装置；
8.所述运行装置上固定连接有吸附装置；运行装置上安装有两个运行轨道，且两个运行轨道安装在密封箱体上；密封箱体前侧铰接有密封门；密封箱体侧面设有观察窗；密封箱体内部安装有浮动清理部，且浮动清理部上安装有三组出油部；浮动清理部上固定连接有输油泵，且输油泵通过管接三个出油部；密封箱体上安装有切割装置，且切割装置上安装有切割定位部；
9.加工装置，加工装置安装在密封箱体内部。
10.进一步的，所述切割装置包括：
11.驱动电机，驱动电机通过支架固定连接在密封箱体上；
12.切割轴，切割轴转动连接在密封箱体上；切割轴上设有四个滑条；切割轴侧面穿过密封箱体固定连接在驱动电机轴端。
13.进一步的，所述加工装置包括：
14.加工轨道，加工轨道固定连接在密封箱体内部；
15.电动螺纹杆，电动螺纹杆安装在加工轨道上；
16.滑块，滑块滑动连接在加工轨道上，且滑块上设有螺纹孔，螺纹连接在电动螺纹杆上；
17.电动伸缩杆，电动伸缩杆固定连接在滑块底部；
18.加工打磨机，加工打磨机固定连接在电动伸缩杆底部轴端。
19.进一步的，所述运行装置还包括：
20.夹板，夹板设有两个，两个夹板均滑动连接在运行安装板；
21.扭转杆，扭转杆转动连接在运行安装板顶部的扭转杆轴上；扭转杆两侧开设有滑动槽，用于滑动连接两个连杆；
22.连杆，连杆设有两个；两个连杆固定连接在两个夹板上；两个连杆另一端分别滑动连接在扭转杆两侧；连杆的杆头处设有连接轴，通过连接轴对向滑动连接在扭转杆左右两侧；连杆分别对向固定连接在两个夹板上；两个连杆左右错位安装；
23.拉簧，拉簧设有两个，两个拉簧采用对向且分别连接在扭转杆的左右两侧与两个夹板之间。两个拉簧左右错位安装。
24.进一步的，所述浮动清理部包括：
25.浮动轴架，浮动轴架设有两个，两个浮动轴架固定连接在密封箱体内部两侧；两个浮动轴架上分别设有两个滑轴，两个滑轴上均套装有弹簧；
26.浮动块，浮动块设有两个，且两个浮动块分别滑动连接在浮动轴架，两个浮动块底部均设有滚轮。
27.进一步的，所述浮动清理部还包括：
28.辊架，辊架固定连接在两个浮动块之间；
29.清理辊，清理辊设有两个，两个清理辊转动连接于辊架；
30.筒架，筒架固定连接在辊架上。
31.进一步的，所述吸附装置包括：
32.吸附架，吸附架固定连接在运行安装板顶部的扭转杆轴上；
33.吸盘，吸盘设有两个；两个吸盘均固定连接在吸附架上。
34.进一步的，所述出油部包括：
35.油筒，油筒固定连接在辊架，油筒底部设有环形斜面块；
36.柱架，柱架固定连接在油筒内部；柱架上套装有弹簧；
37.撞柱，撞柱滑动连接在柱架上，且撞柱底部为半球结构，撞柱上部为锥形结构；撞柱顶部的锥面与油筒内部侧面的环形斜面相贴合。
38.进一步的，所述切割定位部包括：
39.定位滑动架，定位滑动架滑动连接在密封箱体侧面；定位滑动架为“u”形结构，且
定位滑动架两前端分别设有连接块用于滑动连接在切割锯片上开设的环形槽；定位滑动架上设有螺纹孔；
40.切割锯片，切割锯片上设有滑动孔，滑动连接在切割轴上，且切割锯片上开设有环形槽，环形槽的内部滑动连接定位滑动架两前端；
41.丝杆，丝杆通过支架转动连接在侧面，且丝杆螺纹连接在定位滑动架中部。
42.进一步的，所述运行装置包括：
43.运行安装板，运行安装板固定滑动连接在两个运行轨道上；运行安装板上设有两个滑槽；运行安装板顶部设有扭转杆轴；
44.运行丝杆，运行丝杆转动连接在运行安装板，且运行丝杆螺纹连接在密封箱体上；
45.浮动斜块，浮动斜块设有两个，且两个浮动斜块分别固定连接在运行安装板两侧。
46.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
47.1、在本装置中，设置了运行装置，采用通过运行装置推进驱动基板进行加工的方式，结构简单稳定，同时配合加工装置可以提高加工精度，设置的吸附装置可以起到辅助减震的作用，同时辅助更加稳定的安装基板，通过采用运行丝杆驱动运行设置的运行安装板在运行轨道上滑动前进，一次性可以实现多种加工方式，同时设置的夹板通过采用在设置的两个拉簧的拉动下，可以实现带动扭转杆进行转动，其中扭转杆采用中部转动连接在运行安装板上的方式，可以实现同时带动两个连杆同时联动两个夹板对向驱动夹紧，结构简单稳定，对基板的受力更加均匀，实现适用于不同规格的基板加工定位，同时，采用设置的吸附装置，在两个吸盘吸附下，实现可以将基板更加牢固固定的进行固定，同时对基板底部起到一个支撑以及减震的作用，可以有成效的防止在进行研磨加工时出现裂纹以及切削过程中出现起边的问题，起到保护作用，同时设置的运行装置可以更加精确的对基板进行中心定位，配合加工装置上的加工打磨机，无需多次调节研磨起始位置，仅需一次编程，即可实现不同规格的基板进行精确的研磨工作，提高工作效率以及加工精度。
48.2、在本装置中，设置了浮动清理部，采用通过浮动清理部来支撑出油部的方式，配合浮动斜块，可以实现随着运行装置的移动来调节浮动清理部的清理工作以及出油部的出油截流工作，使用更加高效，更加精确的控制出油量，避免浪费，同时避免加工碎屑以及灰尘静电影响高精度加工过程，通过在运行装置移动过程，设置的浮动轴架上的浮动块底部滚轮可以随着浮动斜块调节清理辊以及筒架的高度，通过清理辊可以有效的去除基板上的静电以及灰尘，通过设置的出油部，在撞柱触碰基板时，受到挤压，向上滑动，过程中撞柱上的锥形块与油筒底部分离，实现出油工作，其中，撞柱向上滑动的距离受基板厚度影响，基板越厚撞柱向上滑动的距离越大，出油量更大，反之，出油量小，通过设置滑动连接的撞柱可以实现根据不同厚度的基板自动调节出油量，基板越厚，辅助的切削油越多，确保切削效果以及达到最佳的降温效果，在运行安装板推进至密封箱体左侧时，此时浮动块上的滚轮处于浮动斜块尾部的斜面顶部，实现带动辊架上的清理辊与基板分离，同时使撞柱与基板分离对切削研磨油进行截流，有效的减少的次品率，同时避免切削碎屑加工过程中二次损伤基板。
49.3、在本装置中，设置了切割装置，采用通过切割装置上设置可以调节的切割定位部的切割距离，可以不停机的自主调节切削尺寸以及切削路径，使用过程更加够灵活，通过设置带有四个滑动条的切割轴既能实现带动切割锯片转动，同时不影响切割锯片进行轴向
的滑动调节，在切割锯片上设置的环形槽并且在环形槽上滑动连接定位滑动架，在切割锯片转动过程中，定位滑动架在丝杆的驱动下实现实时的对切割锯片的位置进行调节，同时采用丝杆进行调节的方式又可实现在任意位置对切割锯片进行定位，使用更加高效，便于调节切割距离，过程中无需停机，使用更加灵活，同时也提供一个无尘的切削环境，提高切削质量。
附图说明
50.图1是本发明的整体结构示意图。
51.图2是本发明的内部结构示意图。
52.图3是本发明的内部侧面结构示意图。
53.图4是本发明的底部结构示意图。
54.图5是本发明的运行装置结构示意图。
55.图6是本发明的运行装置放大结构示意图。
56.图7是本发明的运行装置连接结构均布放大示意图。
57.图8是本发明的吸附装置结构示意图。
58.图9是本发明的浮动清理部整体结构示意图。
59.图10是本发明的浮动清理部结构示意图。
60.图11是本发明的浮动清理部局部放大结构示意图。
61.图12是本发明的浮动清理部底部结构示意图。
62.图13是本发明的出油部内部结构示意图。
63.图14是本发明的出油部结构剖视图。
64.图15是本发明的切割装置结构示意图。
65.图16是本发明的切割定位部结构示意图。
66.图17是本发明的切割定位部局部放大结构示意图。
67.图18是本发明的加工装置结构示意图。
68.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
69.1、运行装置；
70.101、运行安装板；102、运行丝杆；103、浮动斜块；104、夹板；105、扭转杆；106、连杆；107、拉簧；
71.2、吸附装置；
72.201、吸附架；202、吸盘；
73.3、浮动清理部；
74.301、浮动轴架；302、浮动块；303、辊架；304、清理辊；305、筒架；
75.4、出油部；
76.401、油筒；402、柱架；403、撞柱；
77.5、切割装置；
78.501、驱动电机；502、切割轴；
79.6、切割定位部；
80.601、定位滑动架；602、切割锯片；603、丝杆；
81.7、加工装置；
82.701、加工轨道；702、电动螺纹杆；703、滑块；704、电动伸缩杆；705、加工打磨机；
83.8、密封箱体；
84.9、运行轨道；
85.10、输油泵；
86.11、密封门。
具体实施方式
87.下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
88.在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
89.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
90.实施例：
91.如附图1至附图18所示：
92.本发明提供半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括运行装置1；运行装置1上固定连接有吸附装置2；运行装置1上安装有两个运行轨道9，且两个运行轨道9安装在密封箱体8上；密封箱体8前侧铰接有密封门11；密封箱体8侧面设有观察窗；密封箱体8内部安装有浮动清理部3，且浮动清理部3上安装有三组出油部4；浮动清理部3上固定连接有输油泵10，且输油泵10通过管接三个出油部4；密封箱体8上安装有切割装置5，且切割装置5上安装有切割定位部6；加工装置7，加工装置7安装在密封箱体8内部。
93.如附图5、6、7、8、18所示，运行装置1包括：运行安装板101，运行安装板101固定滑动连接在两个运行轨道9上；运行安装板101上设有两个滑槽；运行安装板101顶部设有扭转杆轴；运行丝杆102，运行丝杆102转动连接在运行安装板101，且运行丝杆102螺纹连接在密封箱体8上；浮动斜块103，浮动斜块103设有两个，且两个浮动斜块103分别固定连接在运行安装板101两侧；运行装置1还包括：夹板104，夹板104设有两个，两个夹板104均滑动连接在运行安装板101；扭转杆105，扭转杆105转动连接在运行安装板101顶部的扭转杆轴上；连杆106，连杆106设有两个；两个连杆106固定连接在两个夹板104上；两个连杆106另一端分别滑动连接在扭转杆105两侧；拉簧107，拉簧107设有两个，两个拉簧107分别固定连接在扭转杆105两侧与夹板104之间；吸附装置2包括：吸附架201，吸附架201固定连接在运行安装板101顶部的扭转杆轴上；吸盘202，吸盘202设有两个；两个吸盘202均固定连接在吸附架201上；加工装置7包括：加工轨道701，加工轨道701固定连接在密封箱体8内部；电动螺纹杆
702，电动螺纹杆702安装在加工轨道701上；滑块703，滑块703滑动连接在加工轨道701上，且滑块703上设有螺纹孔，螺纹连接在电动螺纹杆702上；电动伸缩杆704，电动伸缩杆704固定连接在滑块703底部；加工打磨机705，加工打磨机705固定连接在电动伸缩杆704底部轴端；设置了运行装置1，采用通过运行装置1推进驱动基板进行加工的方式，结构简单稳定，同时配合加工装置7可以提高加工精度，设置的吸附装置2可以起到辅助减震的作用，同时辅助更加稳定的安装基板，通过采用运行丝杆102驱动运行设置的运行安装板101在运行轨道9上滑动前进，一次性可以实现多种加工方式，同时设置的夹板104通过采用在设置的两个拉簧107的拉动下，可以实现带动扭转杆105进行转动，其中扭转杆105采用中部转动连接在运行安装板101上的方式，可以实现同时带动两个连杆106同时联动两个夹板104对向驱动夹紧，手动操作拉动夹板104对基板的定位固定便捷灵活，对向挤压对基板的受力更加均匀，实现适用于不同规格的基板加工定位，同时结构简单制造成本低，适用于小型加工中心，同时，采用设置的吸附装置2，在两个吸盘102吸附下，实现可以将基板更加牢固固定的进行固定，同时对基板底部起到一个支撑以及减震的作用，可以有成效的防止在进行研磨加工时出现裂纹以及切削过程中出现起边的问题，起到保护作用，同时设置的运行装置1可以更加精确的对基板进行中心定位，配合加工装置上的加工打磨机705，无需多次调节研磨起始位置，仅需一次编程，即可实现不同规格的基板进行精确的研磨工作，提高工作效率以及加工精度。
94.如附图9至附图14所示，浮动清理部3包括：浮动轴架301，浮动轴架301设有两个，两个浮动轴架301固定连接在密封箱体8内部两侧；两个浮动轴架301上分别设有两个滑轴，两个滑轴上均套装有弹簧；浮动块302，浮动块302设有两个，且两个浮动块302分别滑动连接在浮动轴架301，两个浮动块302底部均设有滚轮；浮动清理部3还包括：辊架303，辊架303固定连接在两个浮动块302之间；清理辊304，清理辊304设有两个，两个清理辊304转动连接于辊架303；筒架305，筒架305固定连接在辊架303上；出油部4包括：油筒401，油筒401固定连接在辊架303，油筒401底部设有环形斜面块；柱架402，柱架402固定连接在油筒401内部；柱架402上套装有弹簧；撞柱403，撞柱403滑动连接在柱架402上，且撞柱403底部为半球结构，撞柱403上部为锥形结构；设置了浮动清理部3，采用通过浮动清理部3来支撑出油部4的方式，配合浮动斜块103，可以实现随着运行装置1的移动来调节浮动清理部3的清理工作以及出油部4的出油以及截流工作，使用更加高效，更加精确的控制出油量，同时避免加工碎屑以及灰尘静电影响高精度加工过程，通过在运行装置1移动过程，设置的浮动轴架301上的浮动块302底部滚轮可以随着浮动斜块103调节清理辊304以及筒架305的高度，通过清理辊304可以有效的去除基板上的静电以及灰尘，通过设置的出油部4，在撞柱403触碰基板时，受到挤压，向上滑动，过程中撞柱403上的锥形块与油筒401底部分离，实现出油工作，其中，撞柱403向上滑动的距离受基板厚度影响，基板越厚撞柱403向上滑动的距离越大，出油量更大，反之，出油量小，通过设置滑动连接的撞柱403可以实现根据不同厚度的基板自动调节出油量，基板越厚，辅助的切削油越多，确保切削效果以及达到最佳的降温效果，在运行安装板101推进至密封箱体8左侧时，此时浮动块302上的滚轮处于浮动斜块103尾部的斜面顶部，实现带动辊架303上的清理辊304与基板分离，同时使撞柱403与基板分离对切削研磨油进行截流，有效的避免浪费油液，有效的减少了次品率，同时避免切削碎屑加工过程中二次损伤基板。
95.如附图15至附图17所示，切割装置5包括：驱动电机501，驱动电机501通过支架固定连接在密封箱体8上；切割轴502，切割轴502转动连接在密封箱体8上；切割轴502上设有四个滑条；切割轴502侧面穿过密封箱体8固定连接在驱动电机501轴端；切割定位部6包括：定位滑动架601，定位滑动架601滑动连接在密封箱体8侧面；切割锯片602，切割锯片602上设有滑动孔，滑动连接在切割轴502上，且切割锯片602上开设有环形槽，通过环形槽滑动连接在定位滑动架601前端；丝杆603，丝杆603通过支架转动连接在侧面，且丝杆603螺纹连接在定位滑动架601中部，设置了切割装置6，采用通过切割装置6上设置可以调节的切割定位部6的切割距离，可以不停机的自主调节切削尺寸以及切削路径，使用过程更加够灵活，通过设置带有四个滑动条的切割轴502既能实现带动切割锯片602转动，同时不影响切割锯片602进行轴向的滑动调节，在切割锯片602上设置的环形槽并且在环形槽上滑动连接定位滑动架601，在切割锯片602转动过程中，定位滑动架601在丝杆603的驱动下实现实时的对切割锯片602的位置进行调节，同时采用丝杆603进行调节的方式又可实现在任意位置对切割锯片602进行定位，使用更加高效，便于调节切割距离，过程中无需停机，使用更加灵活，同时也提供一个无尘的切削环境，提高切削质量。
96.在另一实施例中，其他结构不变，本实施例提供另一种夹板104的结构形式，在夹板104上固定连接防护胶垫，通过在夹板104上设置防护胶垫，可以更好的保护基板，同时起到防滑的作用。
97.使用时：首先，通过设置的密封箱体8将设备放置安装在工作台上，随后，即可打开密封箱体8上铰链连接的密封门11，通过转动运行丝杆10，带动运行安装板101移动至密封箱体8侧面来安装基板，通过拉动一侧的夹板104即可放置基板，设置的夹板104通过采用在设置的两个拉簧107的拉动下，可以实现带动扭转杆105进行转动，其中扭转杆105采用中部转动连接在运行安装板101上的方式，可以实现同时带动两个连杆106同时联动两个夹板104对向驱动夹紧，实现牢固固定基板，随后工作人员用手向下轻轻挤压基板，使基板吸附在两个吸盘102上，在两个吸盘102吸附下，可以将基板更加牢固的进行固定以及进行缓震支撑，通过转动运行丝杆10，带动运行安装板101推进，过程中，浮动轴架301上的浮动块302底部滚轮可以随着浮动斜块103调节清理辊304以及筒架305的高度，通过清理辊304可以有效的去除基板上的静电以及灰尘，在撞柱403触碰基板时，受到挤压，向上滑动，过程中撞柱403上的锥形块与油筒401底部分离，实现出油工作，继续推进运行安装板101致使浮动块302上的滚轮处于浮动斜块103尾部的斜面顶部时，辊架303上的清理辊304与基板分离，同时使撞柱403与基板分离对切削研磨油进行截流，当需要进行切削工作时，同样将运行安装板101驱动运行，出油部4出油后，通过两个清理辊304实现清理除尘的作用，工作时，通过驱动电机501驱动切割轴502，带动切割锯片602转动切削，过程中，转动丝杆603，实现驱动定位滑动架601轴向移动，过程中带动滑动连接的切割锯片602进行轴向调节，最终实现半导体器件生产用的电气元件制造装置的应用。
98.本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。