一种洁净室系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种洁净室系统，具体涉及一种用于无高架地板却又要求class 1000以上洁净等级的洁净室系统，特别是车间高度受限制及需要宽敞使用空间的生产场合。
【背景技术】
[0002]洁净室是一个提供无尘环境的生产场所，伴随高新技术产业的发展，目前已经得到了广泛应用。标准洁净室设计，需要高架地板，特别是愈高等级的洁净室。
[0003]现有技术中，洁净室系统的设计可以通过有无高架地板分成2种，一种是具有高架地板的，其主要包括新风输送系统、排气系统和一洁净空间，所述洁净空间从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板，此一系统，提供较佳的排尘设计，能够达到class 1000以上的需求。还有一种是不具有高架地板的，其洁净空间从上到下就包括架构空间1和洁净空间2，架构空间和洁净空间之间设有天花板3，而洁净空间的底部则没有高架地板和循环空间，而直接是地面(如水泥地板)；针对这种不具有高架地板的洁净空间，一般是在洁净空间内设置多个回风道结构，回风道4设于地面和天花板之间，其顶部与架构空间连通，其底部侧面则设有回风口 5，回风口内一般还设有回风百叶；参见附图1所示，洁净空气从架构空间的FFU往下吹，再由回风口进入回风道，最终由回风道循环至架构空间，从而形成了气流循环。
[0004]然而，实际应用中为了尽量降低回风道的数量，以及降低回风噪声，现有技术一般将回风道上的回风口的高度设计成0.8-1.2 m左右，从而增大回风口的面积；而这个高度通常比较接近设备6的高度，造成离回风口近的底部气体饶过设备进入回风口，形成扬尘，最终会弄脏设备机台和产品，降低了产品良率。参见附图2所示。同时，回风道的长墙更占用洁净室空间，对空间的利用造成影响。
[0005]针对上述问题，最简单的办法是降低回风口的高度。然而，降低回风口的高度则会大大减少回风口的面积，导致回风噪声提高。而要解决该问题，一般只能增加回风道的数量，但回风道是需要占用地面面积的，增加回风道的数量，必然会导致地面可用面积降低，影响了设备的摆放数量和摆放位置，这一点在实际中是非常致命的。
【发明内容】
[0006]本发明的目的是提供一种洁净室系统。
[0007]为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是:一种洁净室系统，包括新风输送系统、排气系统和一洁净空间；
所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间的底部为地面；
所述洁净空间内设置多个回风道结构，回风道设于地面和天花板之间，其顶部与架构空间连通，其底部侧面则设有回风口 ；
所述回风口的高度小于等于20 cm； 所述天花板上设有第二回风口。
[0008]上文中，所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间的底部为地面，即洁净空间的底部没有高架地板和循环空间，而直接是地面(如水泥地板或混凝土板)。
[0009]所述洁净空间内设置多个回风道结构，以形成洁净空间内的气流循环，这属于现有技术。进一步的，所述回风柱内还可以设有风机。
[0010]本发明主要用于无高架地板却又要求class 1000以上洁净等级的洁净室系统。
[0011]本发明的创造性主要在于2个方面：（1)大大降低了回风口的高度，20 cm的高度与现有设备(一般一米左右）是相差很大的，这便不会造成离回风口近的底部气体饶过设备进入回风口而形成扬尘现象，从而大大提高了产品良率。（2)在天花板上设置了第二回风口，该第二回风口的作用主要是吸收洁净空间中重量较小的颗粒灰尘，再由FFU进行过滤；而此时的回风道的回风口则主要吸收洁净空间中重量较大的颗粒灰尘，再通过回风道最终进入FFU进行过滤；这种结构可以使洁净空间中的颗粒灰尘等杂质形成大小分流，即??大的、重的颗粒由回风道的回风口吸收，而小的、轻的颗粒则由第二回风口吸收。这便同时达到了降低扬尘现象、减少回风道的占用面积、以及满足和提高洁净度的目的，显然具有积极的现实意义。
[0012]上述技术方案中，所述回风口处的回风量占总回风量的比例小于等于15%。
[0013]优选的，所述回风口的高度为8~15 cm。
[0014]上述技术方案中，所述回风道底部侧面的回风口处设有回风百叶。
[0015]上述技术方案中，所述天花板上的第二回风口处设有回风百叶。
[0016]上述技术方案中，所述洁净空间内具有立柱，立柱的四周设有隔板，使立柱和隔板之间形成所述回风道结构。
[0017]优选的，相邻立柱之间设有所述第二回风口。
[0018]上述技术方案中，所述回风道内设有干盘管。以进行温度调节。
[0019]上述技术方案中，所述架构空间内与所述第二回风口相邻的位置设有干盘管。以进行温度调节。
[0020]由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：
1、本发明设计得到了一种洁净室系统，通过降低回风口的高度，其高度与现有设备是相差很大的，这便不会造成离回风口近的底部气体饶过设备进入回风口而形成扬尘现象，从而大大提尚了广品良率；
2、本发明在天花板上设置了第二回风口，该第二回风口的作用主要是吸收洁净空间中重量较小的颗粒灰尘，再由FFU进行过滤；而此时的回风道的回风口则主要吸收洁净空间中重量较大的颗粒灰尘，再通过回风道最终进入FFU进行过滤；这种结构可以使洁净空间中的颗粒灰尘等杂质形成大小分流，这便同时达到了降低扬尘现象、减少回风道的占用面积、以及满足和提高洁净度的目的，显然具有积极的现实意义；
3、本发明的结构简单，易于制备，适于推广应用。
【附图说明】
[0021]图1是【背景技术】中的洁净室系统的局部俯视图。
[0022]图2是图1中AA剖视图。
[0023]图3是本发明实施例一的局部俯视图。
[0024]图4是图