本发明涉及一种水平多关节工业机器人，用于在半导体制造厂输送晶片。
背景技术：
一般传统的水平多关节机器人，对应于具有多个自由度的手臂关节的连接件被配备多个手臂旋转驱动源，且分别驱动各个手臂，除了上述手臂旋转驱动源之外，在一手臂的远端还配备一机器人手旋转驱动源。这种结构需要提供能源（如电缆布线或液压油或气体的管道）给手臂之间的连接件和手臂的远端用于触发手臂旋转驱动源和机器人手旋转驱动源。这样，手臂和机器人手的旋转运动给这些电缆布线和管道安排了机械载荷，从而降低了它自己的可靠性，而且在每个手臂设置旋转驱动源增加了运动部件的重量，从而增加了运动部件的惯性矩。
技术实现要素：
本发明要解决的技术问题是旋转驱动源被集中设置在基座内，消除供应电缆和管道装置的需要，防止由于手臂和机器人手的旋转运动降低可靠性，通过减少运动部件的重量惯性矩被减少。
为了解决上述技术问题，本发明采用技术方案是：一种水平多关节工业机器人。
一种水平多关节工业机器人，包括：基座、第一、二、三手臂、机器人手、旋转驱动源和驱动力传递机构，手臂依次枢轴彼此连接，第一手臂可旋转地安装在基座上，机器人手可旋转地安装在第三手臂远端部位，旋转驱动源被设置在基座内且包括手臂旋转电机、手臂延伸电机和机器人手旋转电机，驱动力传递机构用来传递来自旋转驱动源旋转驱动力给每个手臂给机器人手，且被设置在每个手臂和手臂的连接件内。
所述的手臂旋转电机通过驱动力传递机构来驱动第一、第三手臂旋转；所述的手臂延伸电机通过驱动力传递机构来驱动第二手臂旋转；所述的机器人手旋转电机通过驱动力传递机构来驱动机器人手旋转。
所述的驱动力传递机构分为用于手臂旋转的驱动力传递机构、用于手臂延伸的驱动力传递机构和用于机器人手旋转的驱动力传递机构，所述的用于手臂旋转的驱动力传递机构包括皮带轮和皮带，皮带轮被固定在手臂旋转电机的输出轴上，皮带轮被固定在第一手臂的近端，皮带以环连接在所述的皮带轮之间，皮带轮被固定在第一手臂的远端，且被固定在固定轴的上节，固定轴通过第一、第二手臂之间的连接件朝向第二手臂的内侧，皮带轮被固定在第三手臂的近端，皮带以环连接在皮带轮之间。所述的用于手臂延伸的驱动力传递机构包括皮带轮和皮带，皮带轮被固定在手臂延伸电机的输出轴上，通过第一手臂近端的皮带轮分别被固定在旋转轴的上端和下端，皮带轮被固定在第二手臂的近端部位，皮带以环连接在皮带轮之间，皮带以环连接在皮带轮之间。所述的用于机器人手旋转的驱动力传递机构包括皮带轮和皮带，皮带轮被固定在机器人手旋转电机的输出轴上，通过第一手臂的近端部位的皮带轮分别被固定在由第一手臂近端部位可旋转地支撑的鼓的上端和低端，皮带轮分别被固定在由固定轴可旋转地支撑的鼓的上端和低端，皮带轮分别被固定在由第三手臂的近端可旋转地支撑的旋转轴的上端和低端，皮带轮被固定在由第三手臂的一端可旋转地支撑的旋转轴的低端，机器人手被固定在旋转轴的上端，对应皮带以环连接在对应皮带轮之间。
本发明要解决的优点和有益效果是：旋转驱动源被集中设置在基座内，消除供应电缆和管道装置的需要，防止由于手臂和机器人手的旋转运动降低可靠性，通过减少运动部件的重量惯性矩被减少。
附图说明
附图1：一种水平多关节工业机器人示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明：一种水平多关节工业机器人，包括：基座（1）、第一、二、三手臂（2，3，4）、机器人手（5）、旋转驱动源和驱动力传递机构，手臂（2，3，4）依次枢轴彼此连接，第一手臂（2）可旋转地安装在基座（1）上，机器人手（5）可旋转地安装在第三手臂（4）远端部位，旋转驱动源被设置在基座（1）内且包括手臂旋转电机（8）、手臂延伸电机（6）和机器人手旋转电机（7），所述的手臂旋转电机（8）通过驱动力传递机构来驱动第一、第三手臂（2，4）旋转；所述的手臂延伸电机（6）通过驱动力传递机构来驱动第二手臂（3）旋转；所述的机器人手旋转电机（7）通过驱动力传递机构来驱动机器人手（5）旋转。所述的驱动力传递机构分为用于手臂旋转的驱动力传递机构、用于手臂延伸的驱动力传递机构和用于机器人手旋转的驱动力传递机构，所述的用于手臂旋转的驱动力传递机构包括皮带轮（9，10，11，12）和皮带（13，14），皮带轮（9）被固定在手臂旋转电机（8）的输出轴上，皮带轮（10）被固定在第一手臂（2）的近端，皮带（13）以环连接在所述的皮带轮（9，10）之间，皮带轮（11）被固定在第一手臂（2）的远端，且被固定在固定轴（15）的上节，固定轴（15）通过第一、第二手臂（2，3）之间的连接件朝向第二手臂（3）的内侧，皮带轮（12）被固定在第三手臂（4）的近端，皮带（14）以环连接在皮带轮（11，12）之间。所述的用于手臂延伸的驱动力传递机构包括皮带轮（16，17，18，19）和皮带（20，21），皮带轮（16）被固定在手臂延伸电机（6）的输出轴上，通过第一手臂（1）近端的皮带轮（17，18）分别被固定在旋转轴（22）的上端和下端，皮带轮（19）被固定在第二手臂（3）的近端部位，皮带（20）以环连接在皮带轮（16，18）之间，皮带（21）以环连接在皮带轮（17，19）之间。所述的用于机器人手旋转的驱动力传递机构包括皮带轮（23，24，25，11，27，28，29，30）和皮带（31，32，33，34），皮带轮（23）被固定在机器人手旋转电机（7）的输出轴上，通过第一手臂（2）的近端部位的皮带轮（24，25）分别被固定在由第一手臂（2）近端部位可旋转地支撑的鼓（35）的上端和低端，皮带轮（11，27）分别被固定在由固定轴（15）可旋转地支撑的鼓（36）的上端和低端，皮带轮（28，29）分别被固定在由第三手臂（4）的近端可旋转地支撑的旋转轴（37）的上端和低端，皮带轮（24）被固定在由第三手臂（4）的一端可旋转地支撑的旋转轴（38）的低端，机器人手（5）被固定在旋转轴（38）的上端，皮带（31）以环连接在皮带轮（23，25）之间，皮带（32）以环连接在皮带轮（24，27）之间，皮带（33）以环连接在皮带轮（26，29）之间，皮带（34）以环连接在皮带轮（28，30）之间。驱动力传递机构用来传递来自旋转驱动源旋转驱动力给每个手臂（2，3，4）给机器人手（5），且被设置在每个手臂（2，3，4）和手臂的连接件内。