高水平度净化工作台的制作方法

本发明涉及净化工作台设备领域，特别涉及一种高水平度净化工作台。

背景技术：

净化工作台最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产制造。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定，也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于亚微米级器件结构而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在亚微米级器件结构产品的生产上，无尘是必然的要求。

随着产品加工的精密化和对产品质量的要求提高，对于制作这类产品的洁净环境也比以前有了更加严格的管控和标准。对净化工作台内的空气质量、工作台的台面均有很高的要求。尤其是用于制备一些特殊产品时，对净化工作台台面的平面度具有严苛的要求。但现有的净化工作台往往因为工作台底座不平、安装地面平整度不够、或是长时间使用后台面磨损等原因，造成工作台面的平面度不够，且工作台面的平面度调节精度过低等问题，且现在的工作台台面通常是固定的，操作不方便，难以满足用户的需求。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种高水平度净化工作台。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种高水平度净化工作台，包括：底座、设置于所述底座上的工作台本体、开设在所述工作台本体上端的进风口、设置在所述进风口上的初效过滤器、设置于所述初效过滤器下方的风机、设置于所述风机下方的高效过滤器、设置于所述工作台本体内的空气质量检测装置、设置在所述底座顶部的面板上的旋转轴、连接于所述旋转轴上的旋转台、设置于所述旋转台上的工作平台及多个间隔设置在所述旋转台与工作平台之间的平面调节装置；

所述初效过滤器包括由上至下依次设置的尼龙层、活性炭层、玻璃纤维层、聚酰亚胺滤膜层和无纺布层；

所述高效过滤器包括由上至下依次设置的第一ptfe纤维层、聚醚砜滤膜层、纳米碳纤维布层、聚苯硫醚纤维层、竹炭纤维层和第二ptfe纤维层。

优选的是，所述空气质量检测装置包括粉尘传感器、温度传感器和湿度传感器。

优选的是，所述平面调节装置包括固接于所述旋转台上的螺母座、配合穿设在所述螺母座上开设的螺母孔内的丝杆、与所述丝杆的一端动力连接的电机、固接于所述丝杆另一端的限位圆盘、用于与所述限位圆盘配合的楔形块及开设在所述楔形块内的阶梯孔。

优选的是，所述阶梯孔包括由外向内依次开设的用于供所述丝杆穿过的小孔段和用于容纳所述限位圆盘的大孔段，所述丝杆与小孔段之间留有间隙，所述限位圆盘与大孔段之间留有间隙，以使所述限位圆盘及与所述限位圆盘连接的丝杆的一端可旋转设置在所述阶梯孔内。

优选的是，所述工作平台的底部开设有多个与所述楔形块配合的楔形曹。

优选的是，所述旋转轴的下端可旋转连接于所述底座的面板上，其上端与所述旋转台的底部固接。

优选的是，所述工作台本体上还设置有用于对所述平面调节装置进行控制的控制按钮，所述控制按钮与所述电机电连接。

优选的是，所述工作台本体上还设置有与所述空气质量检测装置电连接的显示屏。

优选的是，所述工作台本体前端开设有窗口，所述窗口上设置有玻璃推拉门。

优选的是，所述窗口顶端设置有风幕机。

本发明的有益效果是：本发明的高水平度净化工作台，通过设置平面调节装置能保证工作平台的高水平度，且方便调节，满足特殊产品制造时对工作平台水平度的苛刻要求；通过设置旋转台，使工作台能自由旋转，便于工人操作；通过初效过滤器和高效过滤器对空气的过滤净化，能保证工作台本体内的空气的高洁净度；通过设置风幕机，能在工作台本体上的窗口上形成空气屏障，保持工作台本体内的空气的洁净度。本发明结构简单，易于制造，使用方便，具有很好的市场前景。

附图说明

图1为本发明的高水平度净化工作台的结构示意图；

图2为本发明的图1中a部位的局部放大示意图；

图3为本发明的楔形块的结构示意图；

图4为本发明的初效过滤器的剖视图；

图5为本发明的高效过滤器的剖视图。

附图标记说明：

1—工作台本体；2—底座；3—旋转台；4—平面调节装置；5—工作平台；6—柔性护罩；7—初效过滤器；8—风机；9—高效过滤器；10—进风口；11—显示屏；12—照明灯；13—窗口；14—玻璃推拉门；15—风幕机；16—空气质量检测装置；17—控制按钮；20—面板；30—旋转轴；40—螺母座；41—丝杆；42—电机；43—限位圆盘；44—楔形块；45—阶梯孔；46—小孔段；47—大孔段；50—楔形曹；70—尼龙层；71—活性炭层；72—玻璃纤维层；73—聚酰亚胺滤膜层；74—无纺布层；90—第一ptfe纤维层；91—聚醚砜滤膜层；92—纳米碳纤维布层；93—聚苯硫醚纤维层；94—竹炭纤维层；95—第二ptfe纤维层；401—螺母孔。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-5所示，本实施例的一种高水平度净化工作台，包括：底座2、设置于底座2上的工作台本体1、开设在工作台本体1上端的进风口10、设置在进风口10上的初效过滤器7、设置于初效过滤器7下方的风机8、设置于风机8下方的高效过滤器9、设置于工作台本体1内的空气质量检测装置16、设置在底座2顶部的面板20上的旋转轴30、连接于旋转轴30上的旋转台3、设置于旋转台3上的工作平台5及多个间隔设置在旋转台3与工作平台5之间的平面调节装置4。

初效过滤器7包括由上至下依次设置的尼龙层70、活性炭层71、玻璃纤维层72、聚酰亚胺滤膜层73和无纺布层74。

初效过滤器7用于对由风机8抽入到工作台本体1内的空气进行初步过滤。尼龙层70和无纺布层74具有较好的机械性能，用于对其内部的其他层形成保护。活性炭层71具有很强的吸附作用，能除去大量的粉尘。玻璃纤维层72具有很好的粉尘过滤性能，且机械性能好，能延长初效过滤器7的使用寿命。聚酰亚胺滤膜层73吸附性能强，强度高，能提高初效过滤器7的整体性能。

高效过滤器9包括由上至下依次设置的第一ptfe纤维层90、聚醚砜滤膜层91、纳米碳纤维布层92、聚苯硫醚纤维层93、竹炭纤维层94和第二ptfe纤维层95。

高效过滤器9用于对进入工作台本体1内的空气进行进一步过滤。其中，第一ptfe纤维层90和第二ptfe纤维层95具有优秀的吸附性能及良好的机械性能，能大量吸收空气中的粉尘与多种有害物质，还能有效提高过高效过滤器9的强度；聚苯硫醚纤维层93孔隙率高、纳污量大、耐压性好、可反冲和高温消毒，能对空气进行深层过滤；纳米碳纤维布层92具有较好的吸附性能，还能有效增强高效过滤器9的韧性和耐磨性，将其设置于内层，能显著提高高效过滤器9的机械强度，延长其使用寿命；聚醚砜滤膜层91能对空气进行深层过滤；竹炭纤维层94具有超强的吸附力，对有害物质和粉尘具有很好的吸收、分解效果，能有效消除异味。高效过滤器9能对洁净室内的空气进行深度净化，提高空气的洁净度。通过依次设置第一ptfe纤维层90、聚醚砜滤膜层91、纳米碳纤维布层92、聚苯硫醚纤维层93、竹炭纤维层94和第二ptfe纤维层95，使高效过滤器9具有极强的空气净化效果，同时还具有较高的机械强度，使用寿命长。

空气质量检测装置16包括粉尘传感器、温度传感器和湿度传感器。工作台本体1上还设置有与空气质量检测装置16电连接的显示屏11。空气质量检测装置16实时检测工作台本体1内的空气的粉尘含量、温度和湿度，并通过显示屏11显示。

平面调节装置4包括固接于旋转台3上的螺母座40、配合穿设在螺母座40上开设的螺母孔401内的丝杆41、与丝杆41的一端动力连接的电机42、固接于丝杆41另一端的限位圆盘43、用于与限位圆盘43配合的楔形块44及开设在楔形块44内的阶梯孔45。阶梯孔45包括由外向内依次开设的用于供丝杆41穿过的小孔段46和用于容纳限位圆盘43的大孔段47，丝杆41与小孔段46之间留有间隙，限位圆盘43与大孔段47之间留有间隙，以使限位圆盘43及与限位圆盘43连接的丝杆41的一端可旋转设置在阶梯孔45内。

工作平台5的底部开设有多个与楔形块44配合的楔形曹50。楔形曹50上的倾斜面与楔形块44的倾斜面相配合，保证楔形块44的上端斜面与楔形曹50的上端斜面相贴合。楔形块44的大头端与丝杆41连接，小头端向楔形曹50内插入。随楔形块44逐渐插入楔形曹50，工作平台5对应的该端将逐渐上升。

工作台本体1上还设置有用于对平面调节装置4进行控制的控制按钮17，控制按钮17与电机42电连接，对电机42启停进行控制。

平面调节装置4能实现工作平台5平面度的精确调节，具体的，参照图3：当需要调高工作平台5的一端时，操作控制按钮17，通过电机42带动丝杆41旋转，由于螺母固定，丝杆41的另一端向左直线移动，通过丝杆41活动端上的限位圆盘43推动楔形块44向左移动，楔形块44向楔形曹50内移动，抵入楔形曹50，使工作平台5向上微位移，从而抬高该楔形曹50处的工作平台5的一端；当需要调低工作平台5的一端时，通过转动旋转盘，带动丝杆41旋转，丝杆41的活动端向右移动，通过丝杆41活动端上的限位圆盘43拉动楔形块44向右移动，楔形块44从楔形曹50内向外移动，使工作平台5在自身重量作用下向下微位移，从而调低该楔形曹50处的工作平台5的一端。

通过丝杆41与螺母配合，将丝杆41旋转转换成丝杆41的水平位移，推动楔形块44水平运动，再通过楔形块44与楔形曹50配合，将楔形块44的大水平位移转换成楔形曹50处的工作平台5的微垂直位移，从而能实现工作平台5垂直位移的精确调节，通过均匀间隔设置在工作平台5底部的多个平面调节装置4，实现工作平台5平面度的精确调节，以满足高平面度的工作平台5的要求。即丝杆41移动大段水平位移，工作平台5只移动小段的垂直位移，从而通过扩大行程比，提高调节精度。其中，楔形块44的倾斜度越低，平面调节装置4的调节精度越高。

在一种实施例中，平面调节装置4包括四个，分别设置在工作平台5的四个角的底面。

在一种实施例中，工作平台5与工作台本体1内壁之间连接有用于对处于工作台本体1内的平面调节装置4的部分进行防护的柔性护罩6，使工作平台5移动时，柔性护罩6也能随之适应性移动。柔性护罩6既对平面调节装置4进行防护，又能防止平面调节装置4内产生的尘埃等物质污染工作台本体1内的空气。柔性护罩6可选用风琴罩。

旋转轴30的下端可旋转连接于底座2的面板20上，其上端与旋转台3的底部固接。旋转台3可在面板20上自由旋转，从而使工作平台5能自由旋转，便于工人在工作平台5上进行操作。

工作台本体1内部还设置有照明灯12。

工作台本体1前端开设有窗口13，窗口13上设置有玻璃推拉门14。窗口13顶端设置有风幕机15。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节。