搬运机器人的制作方法

本发明涉及搬运基板的搬运机器人。

背景技术：

过去以来，在对半导体晶片、玻璃基板等基板进行处理的基板处理装置中，设有用于将基板搬运到对这些基板进行处理的腔体的搬运机器人。

例如在专利文献1中公开了如下那样的搬运机器人：在搬运机器人的动作范围预先设定干涉区域，存储向示教位置的动作的开始位置、目的位置与干涉区域的组合的型式，判定从开始位置到目的位置的动作符合哪个型式，对应于判定的型式来决定从开始位置到目的位置的动作轨迹，使得避开干涉区域。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：jp特开2010-162682号公报

但在手动操作搬运机器人的情况下，即，在未预先设定目的位置、由用户直接进行操作的情况下，不能运用专利文献1所涉及的搬运机器人。

另外，具有多个旋转轴的scara(选择顺应性装配机器手臂(selectivelycompliancearticulatedrobotarm))型的搬运机器人，因自由度高而难以手动进行操作，因此在手动进行操作的情况下，需要在防止用户的操作失误引起的与周边装置的干涉上下工夫。

技术实现要素：

本发明鉴于相关的情况而提出，其目的在于，提供在基板搬运时能防止搬运机器人的手与周围的干涉的搬运机器人。

本发明所涉及的搬运机器人具有：一端部与第1旋转轴能旋转地连结的第1臂；一端部与设于所述第1臂的另一端部的第2旋转轴能旋转地连结的第2臂；和一端部与设于所述第2臂的另一端部的第3旋转轴能旋转地连结的用于搬运基板的手，所述搬运机器人的特征在于，所述搬运机器人构成为能让用户选择：通过以手动操作使所述第1旋转轴、所述第2旋转轴或所述第3旋转轴的任一者旋转来使所述手的位置变化的各轴手动操作；和使所述手直线地动作的直线手动操作，所述搬运机器人具备存储部，其存储：对应于所述手的动作范围而设定的第1区域以及第2区域；用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件；和用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式来读出所述第1条件或所述第2条件，监视所述手的特定点的位置是否适合读出的条件。

在本发明所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第1条件是所述手的特定点存在于所述第1区域内。

在本发明所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第2条件满足下述(1)～(3)的条件的全部。

(1)不进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域。

(2)进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域内或所述第2区域内。

(3)在进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第2区域内的情况下，角度a的相对于合适值的误差是容许误差内。

发明的效果

根据本发明，由于基于对应于所述搬运机器人被手动操作时的操作模式而选择的所述第1条件或所述第2条件来监视所述手的特定点的位置，因此能防止所述搬运机器人的所述手与周围的干涉。

附图说明

图1是表示本实施方式中基板处理装置的主要部分结构的概略的结构图。

图2是概略表示本实施方式所涉及的基板处理装置的搬运机器人的立体图。

图3是表示本实施方式所涉及的基板处理装置的控制部的主要部分结构的功能框图。

图4是说明第1区域的说明图。

图5是说明第2区域的说明图。

图6是说明第2区域的说明图。

图7是说明在本实施方式所涉及的基板处理装置中由控制部进行的搬运机器人的动作控制的流程图。

附图标记的说明

10搬运机器人

11手

12手

13第3旋转轴

15第2旋转轴

17第1旋转轴

20传输腔体

21设置面

22侧壁

42判定部

43选择部

44监视部

45停止控制部

46通报部

100基板处理装置

c1～c8腔体

c13连通口

w基板

具体实施方式

以下基于附图来说明本实施方式所涉及的搬运机器人。

图1是表示使用搬运机器人的基板处理装置的主要部分结构的概略的结构图。在图1中，附图标记100表示基板处理装置。

基板处理装置100具备主体30和控制部40。主体30具备搬运机器人10和传输腔体20(搬运腔体)。在图1中，为了方便而省略传输腔体20的上部。

另外，主体30具备腔体c1～c8。腔体c1～c8当中腔体c1～c7是用于对基板(未图示)进行处理的处理腔体，腔体c8是用于将存放在大气中的基板运进传输腔体20内的预真空腔(loadlock)。另外，基板例如是半导体晶片、玻璃基板等。

传输腔体20是被侧壁22等包围的密闭空间，在内侧配置有搬运机器人10。传输腔体20中设有搬运机器人10的设置面21例如是六角形状。传输腔体20的侧壁22周设于设置面21的端部，腔体c1～c8气密地向侧壁22安装，与传输腔体20连通。

搬运机器人10将经由腔体c8运进传输腔体20内的基板搬入到腔体c1～c7的任一者。腔体c1～c7对搬入的基板进行蚀刻等处理。另外，搬运机器人10将相关处理后的基板向腔体c1～c7外搬出。另外，搬入以及搬出是搬运动作的一例。

另外，在自动运转时，传输腔体20内以及腔体c1～c7内是真空状态，在示教时，使传输腔体20内以及腔体c1～c7内为大气环境来进行。

其中，即使是真空状态，只要能从传输腔体20的外侧看到传输腔体20内以及腔体c1～c7内，则就算是真空状态也能从传输腔体20的外侧进行示教。

搬运机器人10是多关节式的所谓的scara机器人，具有多个旋转轴，构成为能使各旋转轴独立旋转。图2是概略表示本实施方式所涉及的基板处理装置100的搬运机器人10的立体图。

搬运机器人10具有在与设置面21正交的z轴方向(以下也称作上下方向)上上下活动的基台筒部18，在基台筒部18的中心设有第1旋转轴17。在第1旋转轴17能旋转地连结有棒状的第1臂16的一端部，第1臂16能以第1旋转轴17为中心旋转。在第1臂16的另一端部设有第2旋转轴15。在第2旋转轴15能旋转地连结有棒状的第2臂14的一端部，第2臂14能以第2旋转轴15为中心旋转。即，第2旋转轴15的下部安装于第1臂16的另一端部，在第2旋转轴15的上部安装有第2臂14的一端部。另外，第1臂16的长度与第2臂14的长度相同。

另外，在第2臂14的另一端部设有第3旋转轴13。在第3旋转轴13能旋转地连结有手11、12的一端部，手11、12能以第3旋转轴13为中心旋转。即，第3旋转轴13构成为能使手11以及手12各自个别地旋转。

例如在所述上下方向上，在第3旋转轴13的最上方安装手12的一端部，在手12的所述一端部的下方安装手11的一端部，在最下方安装第2臂14的另一端部。

另外，手11、12例如由图2所示那样的长条形状的薄板材构成，形状并没有限定。

另外，在第1旋转轴17、第2旋转轴15以及第3旋转轴13分别具备对应的驱动单元(例如电动机)，但省略图示以及说明。

在本实施方式所涉及的基板处理装置100中，由于第1旋转轴17、第2旋转轴15以及第3旋转轴13各自能独立旋转，因此能使各旋转轴单独旋转。由此能使手11、12的位置变化。

例如由于能以第3旋转轴13为旋转中心使手11、12分别独立旋转，因此能如图2所示那样，能使相对于第3旋转轴13的手11的朝向(从手的一端部(基端侧)朝向另一端部(前端侧)的方向)和手12的朝向(从手的一端部(基端侧)朝向另一端部(前端侧)的方向)成为不同的朝向。另外，能如后述的图5的基准位置所示那样，使手11的朝向和手12的朝向成为相同朝向。

另外，在本实施方式中，将手动使指定的旋转轴旋转动作的操作称作「各轴手动操作」。

另外，能使多个旋转轴同时旋转。这时，通过控制各旋转轴的动作量，能使手11、12直线地动作。在本实施方式中，将这样的动作称作「直线手动操作」。

另外，在手11、12分别确定特定点(例如后述的中心点tcp)，在进行「直线手动操作」时，控制成特定点的位置直线地动作。

另外，用户能使用示教器50来示教(teaching)搬运机器人10的位置。这时，能通过设于示教器50的按钮切换成各轴手动操作或直线手动操作。即，能选择操作模式。

另外，能指定进行各轴手动操作或直线手动操作的对象。

在各轴手动操作中，如上述那样，能指定使哪个旋转轴旋转。另外，在直线手动操作中，指定手11、12的任意一方的手。

这样的「各轴手动操作」以及「直线手动操作」能使用公知的技术。

另外，进行直线手动操作时的坐标系并没有限定。

例如，能以搬运机器人10的设置位置为基准，设定基于分别正交的x轴(水平面内的轴)、y轴(在水平面内与x轴正交的轴)以及z轴(上下方向的轴)的坐标系。在该坐标系中，即使改变搬运机器人10的动作位置，坐标系也不变。在本实施方式中，将这样的坐标系称作「固定坐标系」。

另外，能将手11、12的一方的行进方向设为基准方向即x轴(水平面内的轴)，设定基于分别正交的x轴(水平面内的轴)、y轴(在水平面内与x轴正交的轴)以及z轴(上下方向的轴)的坐标系。在该坐标系中，若搬运机器人10的动作位置改变，坐标系就也改变。在本实施方式中将这样的坐标系称作「变动坐标系」。

通过示教时分开使用坐标系，能易于进行示教。

由于在本实施方式的搬运机器人10具备2个手11、12，因此例如能以一方的手将腔体c1内的处理完毕的基板搬出到腔体c1外。另外，能将保持于另一方的手的未处理的基板新搬入腔体c1内。

用户为了使这样的动作进行，使用示教器50来对搬运机器人10的动作位置等进行示教。

存储被示教的搬运机器人10的动作位置等的信息。作为动作位置以外的信息，例如是动作速度等。如此地被示教的动作位置、动作速度等信息被依次存储，最终成为示教程序。

例如，将第1个动作位置等信息设为第1示教位置信息「p1」，将第2个动作位置等信息设为第2示教位置信息「p2」、…、将第n-1个动作位置等信息设为第n示教位置信息「pn-1」，将第n个动作位置等信息设为第n示教位置信息「pn」…，若作成这样的示教程序「p」并存储，就能通过读出并执行示教程序「p」来再现示教的搬运机器人10的动作。

以下说明与示教相关的结构。

控制部40通过控制包含手11、12的旋转等在内的搬运机器人10的动作，来进行基板的搬运以及处理。图3是表示本实施方式所涉及的基板处理装置100的控制部40的主要部分结构的功能框图。

控制部40例如具有处理部41、判定部42、选择部43、监视部44、停止控制部45、通报部46和存储部47。

存储部47例如由闪速存储器、eeprom(注册商标)、hdd、mram(磁阻存储器)、feram(铁电体存储器)或oum等非易失性的存储介质构成。

存储部47存储被示教的搬运机器人10的动作位置等信息作为示教程序。

另外，存储部47为了防止搬运机器人10动作时与周围的干涉而存储用于限制搬运机器人10的动作的第1区域r1所相关的信息以及第2区域r2所相关的信息。该第1区域r1所相关的信息以及第2区域r2所相关的信息在监视部44监视手11、12的位置时使用。

以下详细说明该第1区域r1所相关的信息以及第2区域r2所相关的信息。

<第1区域r1>

图4是说明第1区域r1的说明图。在图4中，为了方便而省略传输腔体20的上部。

第1区域r1(图4中阴影部分)是在传输腔体20内在与所述z轴方向正交的水平面内在z轴方向观察(图4的俯视观察)下比搬运机器人10的设置面21小的范围的区域。换言之，第1区域r1是以搬运机器人10的第1旋转轴17为中心、与设置面21平行的三维的区域。第1区域r1在所述z轴方向观察(图4的俯视观察)下形成与设置面21的形状类似的形状。

更详细地，第1区域r1是在所述水平面内被外廓线r11包围的区域，该外廓线r11是将如下位置连起来而形成的：从周设于设置面21的端的侧壁22向设置面21的中央侧离开了比从手11、12各自上的特定点到所述手的前端的第1最大距离l大的距离的位置。

另外，第1区域r1中的z轴方向(上下方向)的范围对应于搬运机器人10的动作范围适宜确定即可。

手11、12各自的特定点，例如是手11、12的中心点tcp(toolcenterpoint，工具中心点)。本实施方式并不限定于此，所述特定点也可以第3旋转轴13近旁的点等，还可以是重心点。以下以所述特定点是手11、12的中心点tcp的情况为例来进行说明。

在将上述的从手11、12各自的特定点到手11、12的前端的最大距离设为l(第1最大距离l)的情况下(参考图2)，从侧壁22到第1区域r1(外廓线r11)的距离l1(参考图4)比第1最大距离l大。

在本实施方式中，将为了确定这样的第1区域r1而需要的信息称作第1区域r1所相关的信息。

<第2区域r2>

图5以及图6是说明第2区域r2的说明图。

在传输腔体20的侧壁22气密地安装有腔体c1～c7。即，传输腔体20和腔体c1～c7连通。以下举出腔体c1为例来详细进行说明。

腔体c1例如是中空的六面体，一面开口而形成连通口c13。在传输腔体20的侧壁22形成与连通口c13对应的贯通孔，经由所述贯通孔以及连通口c13，腔体c1以及传输腔体20连通。手11、12保持基板w来进行搬运，进行将基板w搬入腔体c1内或将基板w从腔体c1搬出的搬运动作。

另外，在图5以及图6中，为了简化说明，设为以腔体c1的纵深方向为x轴方向、以与x轴方向以及z轴方向(上下方向)正交的方向为y轴方向的固定坐标系来进行说明。

另外，在图5的示例中，为了简化图示而图示了使手11的朝向和手12的朝向成为相同朝向的情况，但插入腔体c1内的手是任意一方。即，在使用手12来将基板w搬入或搬出的情况下，手12成为进入手，若是直线手动操作，就能越过第1区域r1的外廓线r11而进入腔体c1侧的区域。这时，另一方的手11成为退避手，不能超过第1区域r1的外廓线r11。为此，使手11绕着第3旋转轴13的轴心旋转并止于第1区域r1内。在此，以腔体c1为对象进行了说明，但在其他腔体的情况下也同样。

另外，在图5中，还一并图示了搬运机器人10的基准位置。图5中以一点划线图示的手11、12，是手11、12的基准位置。

搬运机器人10的基准位置例如是如下那样的位置：基台筒部18在z轴方向上位于最低位置，且第1臂16和第2臂14在俯视观察下重叠的位置，且手11、12的另一端部(前端侧)朝向与第2旋转轴15相反方向的位置。

另外，如上述那样，由于第1臂16的长度和第2臂14的长度相同，因此在搬运机器人10的基准位置，俯视观察下第1臂16和第2臂14重叠。

第2区域r2是与腔体c1的尺寸对应的区域，是基于腔体c1的连通口c13的尺寸(y轴方向、z轴方向)、腔体c1的纵深(x轴方向)设定的三维的区域。在图5以及图6所示的示例中，是由范围r21(x轴方向)、范围r22(y轴方向)以及范围r23(z轴方向)确定的三维的区域。另外，在图5中，用虚线包围z轴方向观察(图4的俯视观察)的第2区域r2。

如此地，由于第2区域r2是与各腔体对应来确定的区域，因此在每个腔体中第2区域r2不同。以下具体说明。

范围r22例如是如下位置到外廓线r11的范围，该位置从腔体c1的对置面c12起在x轴方向上离开了l2。在此，l2比第1最大距离l稍长。

另一方面，将从将手11、12的中心点tcp和第3旋转轴13连起来的直线的任意位置到向y轴方向的手11、12的端的距离当中最长的距离设为第2最大距离m。在该情况下，范围r21是与连通口c13的y轴方向(参考图5)上的两端间对应的范围，是在从一端向另一端侧离开了l3的位置与从所述另一端向所述一端侧离开了l3位置之间的范围。在此，l3比第2最大距离m稍长。

另外，范围r23是与连通口c13的z轴方向(参考图6)上的两端间对应的范围，是从一端向另一端侧离开了给定距离的位置与从所述另一端向所述一端侧离开了给定距离的位置之间的范围。在此，所述给定距离是比对所述z轴方向上的手11、12的厚度之和上加上2片基板w的厚度得到的值稍长的距离。

另外，动作位置中的手11、12的朝向通过角度a来确定，该角度a是由将基准位置上的手11、12的中心点tcp和第3旋转轴13连起来的直线与将动作位置上的手11、12的中心点tcp和第3旋转轴13连起来的直线所成的角度。

另外，由于搬运机器人10的基准位置与各腔体的位置关系不同，因此角度a的合适值根据成为对象的腔体而成为不同的值。

另外，将保持于手11、12的基板w搬入腔体c1内或将基板w从腔体c1搬出时的手11、12以及基板w与腔体c1(不仅包含内部的壁面，还包含连通口c13)的距离短。为此，设定第2区域r2那样的区域，使得示教时手11、12以及基板w不会与腔体c1接触。

具体地，若手11、12的中心点tcp位于第2区域r2内且所述角度a的相对于合适值的误差是容许误差内，在示教时，手11、12以及基板w就不会与腔体c1接触。

在本实施方式中，将为了确定这样的第2区域r2所需的信息称作第2区域r2所相关的信息。为此，不仅各腔体每一者的第2区域r2，各腔体每一者的角度a的合适值、容许误差也成为第2区域r2所相关的信息。

判定部42判定在用户使用示教器50来示教搬运机器人10的位置时，是设定了「各轴手动操作」还是设定了「直线手动操作」。

选择部43选择与判定部42中判定的操作模式对应的判定条件。

例如在判定部42判定为设定了「各轴手动操作」时，选择部43选择第1条件。另外，在判定部42判定为设定了「直线手动操作」时，选择部43选择第1条件以及第2条件。

<第1条件>

第1条件是指手11、12的两方的中心点tcp存在于第1区域r1内。即，在手11、12的任意一方的中心点tcp要超出到第1区域r1外时成为异常。

<第2条件>

第2条件是指满足如下的3个条件的全部。在不满足3个条件的全部的情况下成为异常。

(1)不进行「直线手动操作」的手的中心点tcp存在于第1区域r1内。例如，将进入手设为手12，在进行用于用手12保持基板w并使基板w搬入腔体c1的示教时，由于手11成为退避手(不进行「直线手动操作」的手)，因此在手11的中心点tcp超出到第1区域r1外时成为异常。

(2)进行「直线手动操作」的手的中心点tcp存在于第1区域r1内或第2区域r2内。

(3)在进行「直线手动操作」的手的中心点tcp存在于第2区域r2内的情况下，角度a的相对于合适值的误差是容许误差内。

监视部44在用户使用示教器50对搬运机器人10的位置进行示教时监视是否满足由选择部43选择的条件。例如，在「直线手动操作」时，监视部44监视是否满足第1条件以及第2条件。

在不满足由选择部43选择的条件时判定为异常，将异常信号送往停止控制部45以及通报部46。

停止控制部45在从监视部44送来异常信号时，使搬运机器人10的动作停止。即，即使用户为了进行搬运机器人10的示教而要进行「各轴手动操作」或「直线手动操作」，也不接受其操作命令。

通报部46在从监视部44送来异常信号时，进行向用户的通报。作为向用户的通报，能在示教器50上进行是异常的意思的显示等。另外，还能经由输出部60进行向用户的通报。输出部60例如是显示部、扬声器、灯等。

处理部41例如通过使用cpu(centralprocessingunit，中央处理器)将预先存放于rom(未图示)的控制程序加载到ram(未图示)上并执行，来进行上述的各部的控制，来使装置整体作为本实施方式所涉及的基板处理装置100而动作。另外，处理部41可以包含fpga(fieldprogrammablegatearray，现场可编程门阵列)等处理单元。

另外，控制程序可以构成为不是预先存放于rom(未图示)，而是能以usb存储器等可移动型记录介质u提供。

图7是说明在本实施方式所涉及的基板处理装置100中由控制部40进行的搬运机器人10的动作控制的流程图。为了说明的方便，以用户操作示教器50来进行示教的情况、且手11是所述退避手并且手12是所述进入手的情况为例来进行说明。

用户操作示教器50来开始示教(步骤s101)。用户操作示教器50来进行手动的搬运机器人10的操作指示。这时，控制部40的处理部41经由示教器50接受搬运机器人10的操作指示(步骤s102)。

接下来，判定部42判定接受到的搬运机器人10的操作指示是「各轴手动操作」还是「直线手动操作」(步骤s103)。对判定部42的判定方法已经进行了说明，省略详细的说明。

在判定部42判定为接受到的搬运机器人10的操作指示是所述各轴手动操作的情况下(步骤s103“是”)，选择部43选择所述第1条件(步骤s104)，处理部41从存储部47读出第1条件。

以后，控制部40控制搬运机器人10，执行步骤s102中接受到的操作指示(步骤s105)。

这期间，监视部44以给定的时间间隔判定(监视)手11、12的中心点tcp的位置是否满足第1条件，即手11、12的中心点tcp是否存在于第1区域r1内(步骤s106)。

在由监视部44判定为手11、12的中心点tcp存在于第1区域r1内的情况下(步骤s106“是”)，处理部410判定步骤s102中接受到的操作指示的执行是否完成(步骤s107)。

在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行未完成的情况下，(步骤s107“否”)，处理部41使处理返回步骤s105。另外，在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行完成的情况下(步骤s107“是”)，处理部41使处理前进到步骤s108。

例如，若是正在执行从第n-1个示教位置向第n个示教位置的操作指示中，就判定为操作指示的执行未完成。另外，在到达第n个示教位置并存储了该示教位置信息时，判定为操作指示的执行完成。

在步骤s107中，判定为操作指示的执行完成后从用户接受到结束示教的意思的结束指示的情况下(步骤s108“是”)，处理部41将目前为止示教的示教位置信息汇总，作为1个示教程序来存储。

另一方面，在步骤s107中判定为操作指示的执行完成后，在判定为未从用户接受到结束示教的意思的结束指示的情况下(步骤s108“否”)，将处理返回步骤s102。

但在步骤s106中由监视部44判定为手11、12的中心点tcp未存在于第1区域r1内的情况下(步骤s106“否”)，即，在手11、12的任一者的中心点tcp从第1区域r1脱离的情况下，停止控制部45使与接受到的操作指示相应的搬运机器人10的动作停止(步骤s109)。

接下来，通报部46经由输出部60将手11、12的任一者的中心点tcp从第1区域r1脱离这一情况通报给用户(步骤s110)。以后处理结束。

再度返回步骤s103的说明。

在判定部42判定为接受到的搬运机器人10的操作指示不是所述各轴手动操作的情况下(步骤s103“否”)，即，在接受到的操作指示是所述直线手动操作的情况下，选择部43选择所述第2条件(步骤s111)。处理部41从存储部47读出第2条件。

以后，控制部40控制搬运机器人10，执行在步骤s102接受到的操作指示(步骤s112)。

这期间，监视部44以给定的时间间隔判定(监视)退避手(手11)的中心点tcp是否满足第2条件，即，判定(监视)退避手(手11)的中心点tcp是否存在于第1区域r1内(步骤s113)。

在由监视部44判定为手11的中心点tcp不存在于第1区域r1内的情况下(步骤s113“否”)，即，在手11的中心点tcp从第1区域r1脱离的情况下，停止控制部45使与接受到的操作指示相应的搬运机器人10的动作停止(步骤s109)。另外，通报部46经由输出部60将手11的中心点tcp从第1区域r1脱离这一情况通报给用户(步骤s110)。

但监视部44在判定为退避手(手11)的中心点tcp存在于第1区域r1内的情况下步骤s113“是”)，为了进行进入手(手12)的中心点tcp是否存在于第1区域r1内或第2区域r2内的判定(监视)而执行步骤s114以及s115。

在由监视部44判定为进入手(手12)的中心点tcp存在于第1区域r1内的情况下(步骤s114“是”)，处理前进到步骤s117。

之后处理部41判定在步骤s102接受到的操作指示的执行是否完成(步骤s117)。

处理部41在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行未完成的情况下(步骤s117“否”)，将处理返回步骤s112。另外，处理部41在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行完成的情况下(步骤s117“是”)，将处理前进到步骤s118。

步骤s117以及步骤s118的处理由于与上述的步骤s107以及步骤s108同样，因此省略说明。

另外，监视部44在判定为进入手(手12)的中心点tcp没有存在于第1区域r1内的情况下(步骤s114“否”)，判定(监视)手12的位置是否存在于第2区域r2内(步骤s115)。

但是，在由监视部44判定为进入手(手12)的中心点tcp没有存在于第2区域r2内的情况下(步骤s115“否”)，由于进入手(手12)的中心点tcp没有存在第1区域r1内以及第2区域r2内，因此不满足第2条件，停止控制部45为了使与接受到的操作指示相应的搬运机器人10的动作停止而前进到步骤s109。停止控制部45使与接受到的操作指示相应的搬运机器人10的动作停止(步骤s109)。

在步骤s109后，通报部46经由输出部60将进入手(手12)的中心点tcp从第1区域r1或第2区域r2脱离这一情况通报给用户(步骤s110)。

监视部44在判定为手12的位置存在于第2区域r2内的情况下(步骤s115“是”)，判定(监视)进入手(手12)的朝向(角度a)是否是所述容许误差内(步骤s116)。

在由监视部44判定为手12的朝向不是所述容许误差内的情况下(步骤s116“否”)，进行步骤s109～110的处理。对这些处理已经进行过说明，省略详细的说明。

另外，在由监视部44判定为手12的朝向是所述容许误差内的情况下(步骤s116“是”)，处理部41判定步骤s102中接受到的操作指示的执行是否完成(步骤s117)。

处理部41在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行未完成的情况下(步骤s117“否”)，将处理返回步骤s112。另外，处理部41在判定为步骤s102中接受到的操作指示的执行完成的情况下(步骤s117“是”)，通过确认所述ram来判定是否从用户接受到示教的结束指示(步骤s118)。处理部41在判定为未从用户接受到示教的结束指示的情况下(步骤s118“否”)，将处理返回步骤s102。另外，在由处理部41判定为从用户接受到示教的结束指示的情况下(步骤s118“是”)，处理结束。

如以上那样，由于基于对应于搬运机器人10被手动操作时的操作模式而选择的第1条件或第2条件来监视所述手的特定点的位置，因此能防止搬运机器人10的手与周围的干涉。

另外，上述的判定部42、选择部43、监视部44、停止控制部45以及通报部46可以由硬件逻辑构成，也可以通过处理部41执行给定的程序而软件地构建。

在以上的记载中举出基板处理装置100具有2个手11、12的情况为例进行了说明，但本实施方式并不限于此，也可以是仅具有1个手的结构。

在具有1个手的情况下，由于不需要划分所述进入手和退避手来进行处理，因此在图7的流程图中以省略了步骤s113的处理来应对即可。