1.一种吸附机构,所述吸附机构是通过对设置于与工件相对的位置的空间部进行减压来吸附工件并使所述工件移动的移动装置的吸附机构,其特征在于,所述吸附机构包括:
主体部,所述主体部具有与真空源连通的所述空间部;以及
吸盘,所述吸盘固定于所述主体部,并且构成所述空间部的外周部,
所述主体部具有:支承壁,所述支承壁在朝向所述工件的方向上延伸;以及底盘面,所述底盘面与所述吸盘的后端抵接,所述吸盘构成为,使用弹性材料,具有使前端比所述支承壁更靠向所述工件侧突出的轴向长度,并且形成为沿周向连续的环状,且嵌设于所述支承壁的外周部或内周部,在吸附时与所述工件紧贴而使所述空间部处于密闭状态,
在所述主体部安装有固定部,在所述吸盘嵌设于所述支承壁的外周部的结构的情况下,所述固定部通过压接于所述吸盘的外周部来将所述吸盘紧贴于所述支承壁和所述底盘面并进行固定,在所述吸盘嵌设于所述支承壁的内周部的结构的情况下,所述固定部通过压接于所述吸盘的内周部来将所述吸盘紧贴于所述支承壁和所述底盘面并进行固定。
2.如权利要求1所述的吸附机构,其特征在于,
在所述吸盘嵌设于所述支承壁的外周部的结构的情况下,所述固定部的内径形成为比所述吸盘的外径小规定尺寸,并且所述固定部具有沿着所述吸盘的外周部压接设置的连续状或不连续状的形状,在所述吸盘嵌设于所述支承壁的内周的结构的情况下,所述固定部的外径形成为比所述吸盘的内径大规定尺寸,并且所述固定部具有沿着所述吸盘的内周部压接设置的连续状或不连续状的形状,无论在哪种情况下,所述固定部都配置于在朝向所述工件的方向上距所述底盘面规定尺寸的位置。
3.如权利要求1或2所述的吸附机构,其特征在于,
在所述固定部与所述底盘面之间设置有退避空间,所述退避空间供吸附时所述周面以向沿径向膨胀的方式变形的所述吸盘的变形区域退避。
4.如权利要求1至3中任一项所述的吸附机构,其特征在于,
相对于一个所述主体部设置有多个所述空间部,并且设置有与所述空间部中的每一个对应的所述吸盘,
所述固定部以能够同时固定多个所述吸盘的方式安装于所述主体部。
5.如权利要求1至4中任一项所述的吸附机构,其特征在于,
使用多孔质的橡胶、弹性体、树脂或者他们的复合材料来形成所述吸盘。