技术特征：
1.一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：包括第一夹吸机构，所述第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；所述夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件之间。2.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述驱动部件包括第一导轨、第二导轨、第一移动块和第二移动块；所述安装板上前部安装第一导轨，所述安装板上后部安装第二导轨，所述安装板上的两端均安装一个同步带轮，其中一个同步带轮由电机驱动，两个同步带轮之间安装同步带；所述第一导轨上安装所述第一移动块，所述第二导轨上安装所述第二移动块，所述第一移动块、所述第二移动块分别与所述同步带相连接；所述第一移动块的下端安装所述第一非刚性夹紧件，所述第二移动块的下端安装所述第二非刚性夹紧件。3.根据权利要求2所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述第二非刚性夹紧件包括连接块、导向轴和夹块，所述连接块内开设有与所述第一导轨平行的通孔，所述导向轴上穿设有复位弹簧；所述导向轴穿入所述通孔中，所述导向轴与所述通孔通过所述复位弹簧连接；所述导向轴远离所述非接触式吸盘的一端连接中间块，所述中间块连接所述夹块；所述第一非刚性夹紧件与所述第二非刚性夹紧件结构相同。4.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述第一夹吸机构安装在连接座的第一端；所述连接座的第二端安装有第二夹吸机构；所述第二夹吸机构与所述第一夹吸机构的结构相同。5.根据权利要求4所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述第一夹吸机构与所述连接座通过第一升降机构连接，所述第一升降机构包括固定板和升降气缸，所述固定板固定在所述连接座的左端，所述固定板的顶部安装所述升降气缸，所述固定板的左侧面安装有升降板，所述升降气缸的伸缩杆与所述升降板连接；所述第一夹吸机构与所述升降板连接；所述第二夹吸机构与所述连接座通过第二升降机构连接，所述第二升降机构的结构与所述第一升降机构结构左右对称。6.根据权利要求5所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述固定板的左侧面安装有两根竖直的第三导轨，所述升降板与对应的第三导轨均通过滑块连接。7.根据权利要求5所述的一种非接触式吸盘夹具，其特征在于：所述固定板的前部和后部均安装有导向块，两块所述导向块上均开设有导向孔，所述升降板的前侧和后侧设置有导向柱，所述导向柱穿入对应的所述导向孔中。
技术总结
本发明涉及一种非接触式吸盘夹具，包括第一夹吸机构，第一夹吸机构包括夹紧组件和非接触式吸盘；夹紧组件包括安装板、第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件和用于驱动第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件相对运动的驱动部件，所述驱动部件安装在所述安装板上，所述驱动部件连接所述第一非刚性夹紧件、所述第二非刚性夹紧件；所述非接触式吸盘固定在所述安装板下，位于第一非刚性夹紧件、第二非刚性夹紧件之间。本发明提供的机械式非接触式双工位夹具，代替人工作业，有效解决了工人被烫伤的问题；避免接触晶圆正面的同时，也避免了由于吸盘与晶圆没有直接接触，造成的没有足够的摩擦力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。力固定晶圆进而导致晶圆掉落损坏的问题。
技术研发人员：吴泽斌 王世锐 林志阳
受保护的技术使用者：厦门特仪科技有限公司
技术研发日：2021.12.22
技术公布日：2022/4/12