工业用机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具有手以及由多个臂部构成的臂的工业用机器人。
【背景技术】
[0002]以往，已知一种在真空中搬运玻璃基板等的工业用机器人(例如，参照专利文献I)。专利文献I所记载的工业用机器人具有装载玻璃基板等的手、手能够旋转地连接于末端侧的臂以及将臂的基端侧能够旋转地连接的主体部。臂由彼此能够旋转地连接的第一臂部以及第二臂部构成。手能够旋转地连接于第二臂部的末端侧。第二臂部的基端侧能够旋转地连接于第一臂部的末端侧，第一臂部的基端侧能够旋转地连接于主体部。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献:日本特开2008-6535号公报
【发明内容】
[0006]发明想要解决的课题
[0007]在专利文献I所记载的工业用机器人中，为了确保连接手与第二臂部的关节部或连接第二臂部与第一臂部的关节部的刚性，优选在关节部配置减速机。并且，在专利文献I所记载的工业用机器人等工业用机器人中，定期地进行检修。因此，市场上需求能够低成本且容易地进行检修的工业用机器人。
[0008]因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其在关节部配置有减速机，能够低成本且容易地进行检修。
[0009]解决课题的方法
[0010]为了解决上述课题，本发明所涉及的工业用机器人的特征在于，其具有:手;臂，其具有手能够旋转地连接于末端侧的末端侧臂部以及末端侧臂部的基端侧能够旋转地连接于末端侧的第一臂部;第一关节部，其将末端侧臂部与第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将手与末端侧臂部连接为能够旋转，第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有:第一输入轴，其被输入动力;第一输出轴，其将输入至第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将第一输入轴以及第一输出轴支承为能够旋转，第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有:第二输入轴，其被输入动力;第二输出轴，其将输入至第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将第二输入轴以及第二输出轴支承为能够旋转，第一壳体以及第二壳体固定在末端侧臂部侧。
[0011]在本发明所涉及的工业用机器人中，构成第一关节部的至少一部分的第一减速机的第一壳体固定在末端侧臂部侧，构成第一减速机的第一输入轴、第一输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。并且，在本发明中，构成第二关节部的至少一部分的第二减速机的第二壳体固定在末端侧臂部侧，构成第二减速机的第二输入轴、第二输出轴以及轴承等部件保持于末端侧臂部。因此，在本发明中，在进行工业用机器人的检修时，能够将第一减速机以及第二减速机与末端侧臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的末端侧臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。因此，在本发明中，在关节部配置有减速机的工业用机器人中，能够低成本且容易地进行检修。
[0012]在本发明中，第一减速机以及第二减速机是例如在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。
[0013]在本发明中，优选手、末端侧臂部以及第一臂部配置在真空中，末端侧臂部以及第一臂部形成为中空状，且末端侧臂部的内部以及第一臂部的内部成为大气压，第一关节部具有防止空气自末端侧臂部与第一臂部的连接部分流出至真空中的第一磁性流体密封件，第二关节部具有防止空气自手与末端侧臂部的连接部分流出至真空中的第二磁性流体密封件，第一磁性流体密封件具有:第一密封壳体，其构成所述第一磁性流体密封件的外周侧部分且固定第一壳体;第一内周侧部件，其能够旋转地被保持于第一密封壳体的内周侧且固定第一输出轴；以及第一轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第一密封壳体与第一内周侧部件之间，第二磁性流体密封件具有:第二密封壳体，其构成所述第二磁性流体密封件的外周侧部分且固定第二壳体;第二内周侧部件，其能够旋转地被保持于第二密封壳体的内周侧且固定第二输出轴；以及第二轴承密封部，其具有轴承、永磁铁以及磁性流体，且配置在径向上的第二密封壳体与第二内周侧部件之间，第一壳体隔着第一密封壳体固定于末端侧臂部，第二壳体隔着第二密封壳体固定于末端侧臂部。
[0014]若以此方式构成，则由于将构成第一磁性流体密封件的第一内周侧部件以及第一轴承密封部等部件保持于末端侧臂部，且将构成第二磁性流体密封件的第二内周侧部件以及第二轴承密封部等部件保持于末端侧臂部，因此在进行工业用机器人的检修时，除了能够将第一减速机以及第二减速机与末端侧臂部一体地更换以外，也能够将第一磁性流体密封件以及第二磁性流体密封件与末端侧臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的末端侧臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机，除此以外也能够更换第一磁性流体密封件以及第二磁性流体密封件。因此，即使在关节部具有磁性流体密封件的情況下，也能够低成本且容易地进行检修。
[0015]在本发明中，工业用机器人例如具有两个手、两个末端侧臂部、两个第一臂部、固定两个第一臂部的基端侧的臂支承部、以及以臂支承部能够以上下方向作为旋转的轴向进行旋转的方式连接臂支承部的主体部。在该情況下，在进行工业用机器人的检修时，即使不更换固定于臂支承部的两个第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。
[0016]在此，根据本申请发明者的研究，若在真空室内将高温的搬运对象物装载于手并进行搬运，则臂的上表面侧部分的温度会因来自搬运对象物的辐射热以及来自真空室的壁面的辐射热的影响而变得高于臂的下表面侧部分的温度。并且，在搬运高温的搬运对象物时，若臂的上表面侧部分的温度高于臂的下表面侧部分的温度，则臂的上表面侧部分的热变形量会大于下表面侧部分的热变形量，因此有如下担心:臂以臂的末端侧下降的方式产生热变形而无法利用手恰当地对搬运对象物进行搬运。
[0017]因此，在本发明中，优选手、末端侧臂部以及第一臂部配置在真空中，末端侧臂部以及第一臂部形成为中空状，且末端侧臂部的内部以及第一臂部的内部成为大气压，在末端侧臂部以及第一臂部的内部的上表面形成有散热用的散热片。若如此构成，则在搬运高温的搬运对象物时，能够将臂的上表面侧部分冷却而抑制臂的上表面侧部分的温度上升，从而能够使臂的上表面侧部分的温度接近于臂的下表面侧部分的温度。因此，能够使臂的上表面侧部分的热变形量接近于下表面侧部分的热变形量，而能够抑制末端侧下降的臂的热变形。其结果是，即使在搬运高温的搬运对象物的情況下，也能够通过手恰当地对搬运对象物进行搬运。
[0018]并且，为了解决上述课题，本发明所涉及的工业用机器人的特征在于，其具有:手；臂，其具有第一臂部、第二臂部以及第三臂部，且手能够旋转地连接于末端侧;第一关节部，其将第二臂部与第一臂部连接为能够旋转；以及第二关节部，其将第三臂部与第二臂部连接为能够旋转，第三臂部的基端侧能够旋转地连接于第二臂部的末端侧，第二臂部的基端侧能够旋转地连接于第一臂部的末端侧，第一关节部具有第一减速机，所述第一减速机具有:第一输入轴，其被输入动力;第一输出轴，其使输入至第一输入轴的动力减速并将其输出；以及第一壳体，其将第一输入轴以及第一输出轴支承为能够旋转，第二关节部具有第二减速机，所述第二减速机具有:第二输入轴，其被输入动力;第二输出轴，其使输入至第二输入轴的动力减速并将其输出；以及第二壳体，其将第二输入轴以及第二输出轴支承为能够旋转，第一壳体以及第二壳体固定在第二臂部侧。
[0019]在本发明所涉及的工业用机器人中，将构成第一关节部的至少一部分的第一减速机的第一壳体固定在第二臂部侧，将构成第一减速机的第一输入轴、第一输出轴以及轴承等部件保持于第二臂部。并且，在本发明中，将构成第二关节部的至少一部分的第二减速机的第二壳体固定在第二臂部侧，将构成第二减速机的第二输入轴、第二输出轴以及轴承等部件保持于第二臂部。因此，在本发明中，在进行工业用机器人的检修时，可将第一减速机以及第二减速机与第二臂部一体地更换。即，在进行工业用机器人的检修时，通过更换配置在比第一臂部靠臂的末端侧的位置的第二臂部，即使不更换第一臂部，也能够更换第一减速机以及第二减速机。因此，在本发明中，在关节部配置有减速机的工业用机器人中，能够低成本且容易地进行检修。
[0020]发明效果
[0021]如上所述，在本发明中，能够低成本且容易地进行在关节部配置有减速机的工业用机器人的检修。
【附图说明】
[0022]图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。
[0023]图2是图1所示的臂的基端侧部分以及臂支承部的剖视图。
[0024]图3是图1所示的臂的剖视图。
[0025]图4是图1所示的臂的剖视图。
[0026]图5是图3的E部的放大图。
[0027]图6是图3的F部的放大图。
[0028]图7是图6的K部的放大图。
[0029]图8是图6的L部的放大图。
[0030]图9(A)是图5所示的盖部件的剖视图，(B)自(A)的G-G方向示出盖部件的图。
[0031]图10是图4的H部的放大图。
[0032]图11是图4的J部的放大图。
[0033]图12是图11的M部的放大图。
[0034]图13是图11的N部的放大图。
[0035]图14是本发明的其他实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。
[0036]图15是本发明的其他实施方式所涉及的工业用机器人的图，(A)是俯视图，(B)是侧视图。
【具体实施方式】
[0037]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0038](工业用机器人的示意结构)
[0039]图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人I的俯视图。图2是图1所示的臂6、7的基端侧部分以及臂支承部8的剖视图。图3是图1所示的臂6的剖视图。图4是图1所示的臂7的剖视图。
[0040]本实施方式中的工业用机器人I是(以下称作“机器人I”)用于搬运例如作为搬运对象物的有机EL(0rganic Electro-Luminescence:有机电致发光)显示器用的玻璃基板2(以下称作“基板2”)的机器人。该机器人I组装至省略图示的有机EL显示器的制造系统而加以使用，搬运高温的基板2。
[0041]如图1所示，机器人I具有:两个手4、5，其装载基板2;臂6，手4能够旋转地连接于末端侧;臂7，手5能够旋转地连接于末端侧;臂支承部8，其固定臂6、7的基端侧；以及主体部9，臂支承部8能够旋转地连接于主体部9。手4、5、臂6、7以及臂