IA的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的接近动作，如上所述，由于下侧运送装置IA处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题。
[0170]图9(a)表示上侧运送装置的接近动作。
[0171]在这种情况下，在将上侧运送装置IB伸直了的状态下，通过来自第I回转驱动轴15的旋转动力，第I回转驱动部件31以旋转轴O为中心向逆时针方向旋转规定的微小角度(例如5度左右)，并且通过来自第2回转驱动轴16的旋转动力，第2回转驱动部件32以旋转轴O为中心向顺时针方向旋转规定的微小角度(例如5度左右)。
[0172]这样一来，与上述的上侧运送装置IB的离开动作的情况相反方向的动力被传递(省略详细说明)，右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L向上侧运送装置IB的右上侧末端执行器70R以及左上侧末端执行器70L相对于从旋转轴O沿基板运送方向V延伸的直线Y接近的方向回转。
[0173]其结果，能够进行使上侧运送装置IB的右上侧末端执行器70R和左上侧末端执行器70L接近的动作。
[0174]另外，针对伴随该动作的下侧运送装置IA的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的离开动作，如上所述，由于下侧运送装置IA处于缩回的状态地位于原位，所以不会特别发生问题(参照图9(b))。
[0175]在以上所述的本实施方式中，由于将用于分别使下侧运送机构IA的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R回转的第I以及第2回转驱动轴15、16配置成与第I以及第2伸缩驱动轴11、12为同心状，通过这些第I以及第2回转驱动轴15、16，分别驱动第I以及第2回转驱动部件31、32，使左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R分别以旋转轴O为中心回转，所以能够使隔着旋转轴O以相同高度配置在基板运送方向V的两侧的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R离开或接近，从而调整其间的间隔。
[0176]其结果，根据本实施方式，在两个基板排列地配置的情况下，由于能够将下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R相对于这些基板正确地定位，所以能够容易地进行定位作业，此外，能够提高基板运送之际的通过量。
[0177]此外，在本实施方式中，通过下侧运送装置IA和设在下侧运送装置IA的上方的上侧运送装置IB构成了以下这种运送装置I。
[0178]S卩、在本实施方式中，设置以旋转轴O为中心同心状地配置、能够在水平面内分别独立地旋转的第3以及第4伸缩驱动轴13、14，并且上侧运送装置IB具有在下侧运送装置IA的左下侧运送机构2L以及右下侧运送机构2R的上方隔着旋转轴O配置在基板运送方向V的两侧的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L，这些右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L能够借助第3以及第4伸缩驱动轴13、14伸缩移动。
[0179]而且，通过分别与第I以及第2回转驱动部件31、32相连的联杆机构，使上侧运送装置IB的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L分别以旋转轴O为中心回转。
[0180]根据具有这种结构的本实施方式，能够通过第3以及第4伸缩驱动轴13、14使上侧运送装置IB的右上侧运送机构7R以及左上侧运送机构7L伸缩，并且使左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R离开或接近，从而调整其间的间隔，其结果，由于能够通过下侧运送装置IA和上侧运送装置IB进行基板的运送，所以能够进一步提高基板运送之际的通过量。
[0181]另外，本发明的运送装置并不仅限于上述的实施方式，也能够进行各种变更。
[0182]例如，在上述实施方式中，在下侧运送装置IA和上侧运送装置IB中，进行相对于左下侧运送机构2L(左上侧运送机构7L)和右下侧运送机构2R(右上侧运送机构7R)离开以及接近动作，但由于下侧运送装置IA的左下侧运送机构2L和右下侧运送机构2R、以及上侧运送装置IB的左上侧运送机构7L和右上侧运送机构7R能够分别独立地伸缩以及回转，所以也能够与一对基板的配置相对应地进行各种动作。
[0183]图10?图12是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图。
[0184]如图10所示，本实施方式的真空装置10具有与未图示的真空排气系统相连的作为真空槽的矩形状的运送室80。
[0185]而且，在该运送室80周围的三边分别设有分别与未图示的真空排气系统相连的作为真空槽的一对处理室81和82、83和84、以及87和88，在剩余的一边设有一对准备室85和取出室86。
[0186]在这些处理室81和82、83和84、87和88、以及准备室85和取出室86内分别设有作为运送物配置部的基板配置部20L、20R。
[0187]在运送室80的内部设有上述的运送装置I。
[0188]在此，运送装置I能够旋转地设在运送室80内，下侧运送装置IA以及上侧运送装置IB能够在运送室80内伸缩地构成。
[0189]S卩、如图10?图12所示，例如在上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R上分别载置处理前的基板20，通过使上侧运送装置IB伸长，在将这一对基板20配置在了一对处理室81、82内的基板配置部20L、20R上(参照图11)后，通过使上侧运送装置IB缩回，进行将上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R向原来的位置返回的动作(针对下侧运送装置IA也进行相同的动作。此外，在针对其它的一对处理室83和84、87和88、以及一对准备室85和取出室86进行运送的情况下也同样)。
[0190]在具有这种结构的本实施方式的真空装置10中，由于在运送装置I的伸长动作之际，通过使上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R离开、接近地调整间隔，此外，通过使下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R离开、接近地调整间隔，能够将上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R以及下侧运送机构IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R相对于一对处理室内的基板配置部(例如处理室81、82的基板配置部20L、20R)正确地定位，所以能够容易地进行基板20的定位作业，并且提高基板20向各室运入以及运出之际的通过量。
[0191 ]图13?图15表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的结构，图13是俯视图，图14是表示要部的配置结构的说明图，图15是表示回路系统的结构的框图。以下，对于与上述实施方式相对应的部分赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
[0192]如图13所示，在本实施方式的真空装置1A中，在上述的处理室81和82、83和84、87和88、以及准备室85和取出室86内设有多个(在本实施方式中为3个)位置传感器91?93(运送物检测传感器)。
[0193]这些位置传感器91?93例如由光学式的检测元件构成，在各室内配置在运送室80与基板配置部20L或者基板配置部20R之间。
[0194]在此，位置传感器91?93在相对于图14所示的基板运送方向V相交叉的方向上隔开规定的间隔地配置。
[0195]如图14所示，位置传感器91?93中两侧的位置传感器91、93隔开比基板20的宽度小的间隔、并且比上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L以及右上侧末端执行器70R的基板载置部76R的宽度大的间隔设置。
[0196]而且，根据这种结构，在将左上侧末端执行器70L以及右上侧末端执行器70R沿基板运送方向V运送的情况下，由位置传感器91、93检测基板20的两侧部的端缘部(关于下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R也具有相同的结构)。
[0197]另一方面，在上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R上分别设有用于由位置传感器92检测基板20的位置以及左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的位置的检测用孔部70a(在下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R上也设有未图示的相同的检测用孔部)。
[0198]该检测用孔部70a例如形成为沿基板运送方向V延伸的形状，并跨在左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的基板载置部76L、76R的缘部地设置(下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R的检测用孔部也具有相同的结构)。
[0199]另一方面，位置传感器91?93中配置在中央的位置传感器92设在与基板运送方向V平行、并且分别穿过左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的检测用孔部70a的直线上，这样一来，在将左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R沿基板运送方向V运送的情况下，由位置传感器92分别检测基板20的中央部分的端缘部和左上侧末端执行器70L和右上侧末端执行器70R的检测用孔部70a的基板运送方向上游一侧的端部(关于下侧运送装置IA的左下侧末端执行器30L和右下侧末端执行器30R也具有相同的结构)。
[0200]如图15所示，本实施方式的位置传感器91?93与具有计算机的控制部94相连，将由位置传感器91?93检测到的结果分别向控制部94送出。
[0201 ]在该控制部94中存储有在将预定的特定基板20向上述各室的基板配置部20L、20R运送之际该基板20所通过的轨迹的数据。
[0202] 进而，在控制部94上分别连接有用于驱动上述的第I以及第2回转驱动轴15、16的驱动源95、96，基于从位置传感器91?93送出的信息，根据来自控制部94的命令控制这些驱动源95、96的动作。
[0203 ]图16(a)?图16( e )是表示本实施方式中的基板的位置检测动作的说明图。
[0204]以下，在图16(a)?图16(e)中，以将基板20载置在上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L上进行运送的情况为例进行说明。
[0205]若将基板20载置在上侧运送装置IB的左上侧末端执行器70L的基板载置部76L上，使左上侧运送机构7L动作，将左上侧末端执行器70L沿基板运送方向V运送，则如图16(a)所示，首先，基板20的中央部分的基板运送方向下游一侧的端缘部由中央的位置传感器92检测。因此，将由位置传感器92得到的结果向控制部94送出，在控制部94中变换成位置坐标并存储在控制部94中(检测位置坐标I)。
[0206]接着，若继续左上侧末端执行器70L的运送，则如图16(b)所示，在基板20的两侧部的基板运送方向下游一侧的端缘部分别由两侧的位置传感器91、93检测后，各自的检测结果向控制部94送出，在控制部94中分别变