技术特征：
1.一种微气动控制单元(3)，其特征在于，包括大量控制通道(2)，所述控制通道(2)用于在气动致动的多通道涂覆头(1)中产生控制压力(pc)，以用涂覆剂涂覆组件，所述控制通道(2)包括：a)阀芯(11)，所述阀芯(11)包括在阀板(10)中的阀孔(12)和隔膜层(20)，所述隔膜层(20)在所述阀板(10)下方并且在所述阀孔(12)的区域中被设计为隔膜关闭元件(21)，所述隔膜关闭元件的形状由相对于所述阀孔(12)侧向定位的凹槽确定，b)具有柱塞(26)的微致动器(25)，所述柱塞(26)通过所述阀孔(12)致动所述隔膜关闭元件(21)，以使所述阀芯(11)打开，c)第二微气动元件(15)，所述第二微气动元件(15)与所述阀芯(11)串联连接，产生所述控制压力(pc)，并且空腔(9)位于其连接节点处，所述空腔与至少一台气动操作的涂覆剂喷射器(5)连接，以及d)微气动控制单元(3)的气动加压，其方向是使得相对于所述阀芯(11)，从所述隔膜关闭元件(21)到所述阀板(10)中的所述阀孔(12)存在一个压力梯度。2.根据权利要求1所述的微气动控制单元，其特征在于，所述第二微气动元件(15)的流阻至少是所述阀芯(11)在打开状态下的流阻的两倍。3.根据前述权利要求中任一项所述的微气动控制单元，其特征在于，所述柱塞(26)相对于其接触表面(27)的无负载操作范围(28)在60μm至300μm之间，所述操作范围(28)的上部位置(30)在所述阀孔(11)的密封表面(13)上方20μm至100μm，所述操作范围(28)的下部位置(30)在所述密封表面(13)下方40μm至150μm。4.根据权利要求3所述的微气动控制单元，其特征在于，所述操作范围(28)的中心位置(29)在所述阀孔(11)的密封表面(13)下方20μm至100μm之间。5.根据前述权利要求中的任一项所述的微气动控制单元，其特征在于，第二孔(16)位于所述阀孔(12)下方的第二板(14)内，使得在下隔膜位置(24)中，所述隔膜关闭元件(21)覆盖所述第二孔(16)，并相对于所述第二孔(16)的操作压力(ph)密封所述空腔(9)。6.根据权利要求5所述的微气动控制单元，其特征在于，上隔膜位置(23)与所述下隔膜位置(24)之间的距离为30μm至80μm，其中在所述上隔膜位置(23)中，所述隔膜关闭元件(21)关闭所述阀孔(12)，在所述下隔膜位置(24)中，所述隔膜关闭元件(21)关闭所述第二孔(16)。7.根据前述权利要求中任一项所述的微气动控制单元，其特征在于，所述微致动器(25)包括压电弯曲变换器，以及位于所述压电弯曲变换器和所述柱塞(26)或所述柱塞(26)的头(27)之间用于缓冲冲击载荷的弹性元件(41)。8.根据前述权利要求中任一项所述的微气动控制单元，其特征在于，所述隔膜关闭元件(21)在一侧连接至所述隔膜层(20)，并且被设计为阀舌。9.根据前述权利要求中任一项所述的微气动控制单元，其特征在于，还包括具有双压电晶片压电弯曲变换器的微致动器(25)，通过沿与其极化方向相反的方向操作所述双压电晶片压电弯曲变换器的压电薄片(37)，所述微致动器(25)的操作范围相对于所述密封表面(13)的位置在垂直方向上发生位移。10.根据权利要求9所述的微气动控制单元，其特征在于，在操作期间，上压电薄片(37)处的电压是可变的。
技术总结
本申请提出了一种微气动控制单元，包括大量控制通道，控制通道用于在气动致动的多通道涂覆头中产生控制压力(pc)，从而用涂覆剂涂覆组件，控制通道的特征在于：a)阀芯，阀芯包括在阀板中的阀孔和在阀板下方并且在阀孔的区域中被设计为隔膜关闭元件的隔膜层，隔膜关闭元件的形状由相对于阀孔侧向定位的凹槽确定，b)具有柱塞的微致动器，柱塞通过阀孔致动隔膜关闭元件，以使阀芯打开，c)与阀芯串联连接的第二微气动元件，产生控制压力(pc)，并且空腔位于其连接节点处，空腔与至少一台气动操作的涂覆剂喷射器连接，以及d)微气动控制单元的气动加压，其方向是使得相对于阀芯从隔膜关闭元件到阀板中的阀孔有一个压力梯度。到阀板中的阀孔有一个压力梯度。到阀板中的阀孔有一个压力梯度。
技术研发人员：B
受保护的技术使用者：埃克塞尔工业公司
技术研发日：2021.04.16
技术公布日：2021/10/23