一种柔性面板及其制作方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性面板及其制作方法、显示装置。
【背景技术】
[0002]柔性显示(Flexible Display)技术在近几年有了飞速地发展，由此带动柔性显示装置从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了较大进步。柔性显示装置又称为可卷曲显示装置，是用柔性显示面板组成的可弯曲变形的显示装置，与普通的刚性显示装置相比，柔性显示装置具有:耐冲击、抗震能力强、重量轻、体积小、便于携带、成本低廉等诸多优点。
[0003]目前，柔性显示器件的一般制备方法是在玻璃载板上涂布聚酰亚胺(PI)液，固化、干燥形成柔性基板，然后在此柔性基板上依次完成薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)工艺、电致发光(Electro Luminescent，EL)工艺、薄膜封装工艺、激光剥离工艺、以及模组工艺。
[0004]在完成薄膜封装之后，会在薄膜封装层(Thin film encapsulat1n，TFE)上贴暂时保护膜，保护TFE在之后的工艺中不受颗粒(particle)等因素的影响，从而较好的保证封装效果。由于暂时保护膜在后续贴敷顶层功能膜时需要取下，为避免取下时对EL器件的影响，暂时保护膜的粘性应该越低越好。
[0005]在激光剥离工艺中，激光扫描之后的柔性衬底基板与玻璃载板已经分离，而此时柔性基板位于玻璃载板的下方，由于暂时保护膜的粘性较低，因此激光扫描之后整个柔性基板从玻璃载板上分离，后续进行模组工艺时，柔性基板将无法采用刚性基板的物流方式进行物流，柔性基板由于较柔软，在物流过程中容易被损坏，进而影响模组工艺的良率，导致产品整体良率下降。
【发明内容】
[0006]本发明实施例提供了一种柔性面板及其制作方法、显示装置，用以实现柔性基板米用刚性基板的物流方式进彳丁物流，进而提尚广品良率。
[0007]本发明实施例提供的一种柔性面板的制作方法，所述方法包括:
[0008]通过构图工艺在载板上形成吸收激光能量的光吸收层，所述光吸收层形成在所述载板的边缘区域；
[0009]在形成有所述光吸收层的所述载板上涂布聚酰亚胺液，形成柔性基板，所述柔性基板与所述光吸收层无重叠区域，或所述柔性基板与所述光吸收层部分重叠；
[0010]在所述柔性基板上制作柔性器件，在所述柔性器件上贴暂时保护膜，所述暂时保护膜覆盖所述柔性基板，以及还覆盖部分或全部所述光吸收层；
[0011 ]翻转所述载板，进行激光剥离；
[0012]分离所述载板和所述柔性基板。
[0013]由本发明实施例提供的柔性面板的制作方法，由于本发明实施例在载板上形成有光吸收层，柔性基板形成的区域与光吸收层无重叠区域或有部分重叠区域，在激光剥离工艺中，光吸收层在短时间内吸收大量的激光能量，产生大量的热量，由于暂时保护膜覆盖部分或全部光吸收层，从而使覆盖在光吸收层上的暂时保护膜的粘性增加，不覆盖光吸收层的暂时保护膜的粘性不变。与现有技术相比，由于本发明实施例中的暂时保护膜包括两部分，一部分覆盖部分或全部光吸收层，这部分的暂时保护膜在激光剥离工艺中的粘性增加；另一部分覆盖在柔性基板上，该部分的暂时保护膜的粘性不变，因此，本发明实施例能够保证在激光剥离工艺之后柔性基板与载板不发生相对位移，再进行后续工艺时，柔性基板可以随同载板一起传送，实现柔性基板采用刚性基板的物流方式进行物流，避免了柔性基板在传送过程中发生损坏，提高了产品良率;另外，当柔性基板形成的区域与光吸收层有重叠区域时，在激光剥离工艺中，光吸收层在短时间内吸收大量的激光能量，此时与光吸收层重叠的区域到达柔性基板的激光能量不足以使得与光吸收层有重叠区域位置处的柔性基板与载板分离，因此，能够保证在激光剥离工艺之后柔性基板与载板不发生相对位移。
[0014]较佳地，所述光吸收层为紫外光吸收层。
[0015]较佳地，所述光吸收层的图案形状为框形，所述框形的外框边缘与所述载板的边缘平齐。
[0016]较佳地，所述框形的内框与外框在水平方向上的最短距离相等;所述框形的内框与外框在竖直方向上的最短距离相等。
[0017]较佳地，所述框形的内框与外框在水平方向上的最短距离与所述框形的内框与外框在竖直方向上的最短距离相等。
[0018]较佳地，所述框形的内框与外框在水平方向上的最短距离为3毫米到5毫米。
[0019]较佳地，所述暂时保护膜的尺寸与所述载板的尺寸相同。
[0020]较佳地，所述分离所述载板和所述柔性基板，包括:
[0021]采用切边机切除所述光吸收层，所述切割线的位置与所述光吸收层的内边缘对齐。
[0022]本发明实施例还提供了一种柔性面板，该柔性面板采用上述的制作方法制作形成。
[0023]本发明实施例还提供了一种显示装置，该显示装置包括上述的柔性面板。
【附图说明】
[0024]图1为本发明实施例提供的一种柔性面板的制作方法流程图；
[0025]图2-图7为本发明实施例提供的一种柔性面板的制作过程的不同阶段的结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]本发明实施例提供了一种柔性面板及其制作方法、显示装置，用以实现柔性基板米用刚性基板的物流方式进彳丁物流，进而提尚广品良率。
[0027]为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0028]如图1所示，本发明具体实施例提供了一种柔性面板的制作方法，所述方法包括:
[0029]S101、通过构图工艺在载板上形成吸收激光能量的光吸收层，所述光吸收层形成在所述载板的边缘区域；
[0030]S102、在形成有所述光吸收层的所述载板上涂布聚酰亚胺液，形成柔性基板，所述柔性基板与所述光吸收层无重叠区域，或所述柔性基板与所述光吸收层部分重叠；
[0031]S103、在所述柔性基板上制作柔性器件，在所述柔性器件上贴暂时保护膜，所述暂时保护膜覆盖所述柔性基板，以及还覆盖部分或全部所述光吸收层；
[0032]S104、翻转所述载板，进行激光剥离；
[0033]S105、分离所述载板和所述柔性基板。
[0034]本发明具体实施例在载板上形成有光吸收层，柔性基板形成的区域与光吸收层无重叠区域或有部分重叠区域，在激光剥离工艺中，激光扫描时，光吸收层在短时间内吸收大量的激光能量，产生大量的热量，由于暂时保护膜覆盖部分或全部光吸收层，从而使覆盖在光吸收层上的暂时保护膜的粘性增加，不覆盖光吸收层的暂时保护膜的粘性不变。由于本发明具体实施例中的暂时保护膜包括两部分，一部分覆盖部分或全部光吸收层，这部分的暂时保护膜在激光剥离工艺中的粘性增加；另一部分覆盖在柔性基板上，该部分的暂时保护膜的粘性不变，因此，本发明具体实施例能够保证在激光剥离工艺之后柔性基板与载板不发生相对位移，再进行后续工艺时，柔性基板可以随同载板一起传送，实现柔性基板采用刚性基板的物流方式进行物流，避免了柔性基板在传送过程中发生损坏，进而提高产品良率;另外，当柔性基板形成的区域与光吸收层有重叠区域时，在激光剥离工艺中，光吸收层在短时间内吸收大量的激光能量，此时与光吸收层重叠的区域到达柔性基板的激光能量不足以使得与光吸收层有重叠区域位置处的柔性基板与载板分离，因此，能够保证在激光剥离工艺之后柔性基板与载板不发生相对位移。
[0035]下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的柔性面板的制作方法。
[0036]附图中各膜层厚度和区域大小、形状不反应各膜层的真实比例，目的只是示意说明本
【发明内容】
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[0037]如图2所示，首先，在载板20上沉积一层光吸收膜层，通过构图工艺形成光吸收层21，光吸收层21用于在后续激光剥离时吸收激光的能量。本发明具体实施例中的光吸收层21形成在载板20的边缘区域。具体实施时，本发明具体实施例中的载板为玻璃基板，当然，在实际生产过程中，载板还可以选择其它类型的刚性基板，这里不做具体限定。
[0038]本发明具体实施例中的构图工艺包括光刻胶的涂覆、曝光、显影、刻蚀以及去除光刻胶的部分或全部过程，构图工艺的具体过程与现有技术类似，这里不再赘述。
[0039]优选地，如图2所示，本发明具体实施例中的光吸收膜层21的图案形状为框形，框形的外框边缘与载板20的边缘平齐，这样，在构图工艺过程中，能够更方便的形成光吸收膜层21 ο
[0040]具体地，本发明具体实施例框形的内框与外框在水平方向上的最短距离相等，框形的内框与外框在竖直方向上的最短距离相等，这样，能够保证形成的光吸收膜层21在水平方向上均匀分布在载板上，以及在竖直方向上均匀分布在载板上。
[0041]进一步地，本发明具体实施例框形的内框与外框在水平方向上的最短距离与框形的内框与外框在竖直方向上的最短距离相等，这样，能够保证形成的光吸收膜层21在整个载板上均匀分布，更加有利于形成光吸收层时的构图工艺，以及后续工艺的进行。
[0042]具体实施时，本发明具体实施例中框形的外框边缘与载板20的边缘平齐，框形的内框与外框在水平方向上的最短距离为3毫米(mm)到5mm，框形的内框与外框在竖直方向上的最短距离为3mm到5_。当然，在实际设计时，本发明具体实施例中框形的内框与外框在水平方向上的最短距离，以及框形的内框与外框在竖直方