光波导及其制造方法、使用该光波导的光组件与流程

文档序号:11814484阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光波导,其至少包含下部包覆层、设于该下部包覆层上且具有入射面和出射面的芯、以及具有与所述下部包覆层所形成的平面既不平行也不垂直的倾斜面的光路转换镜,

所述芯具有约束解除面,所述约束解除面最先解除所述芯的侧面对从所述入射面入射的光的约束,

以该约束解除面为边界将所述芯一分为二,在将入射面侧设为第一芯图案部、将出射面侧设为第二芯图案部时,在所述第一芯图案部的光路上或其延长线上配置有所述光路转换镜,

从所述入射部入射的光中至少一部分通过所述光路转换镜反射从而进行光路转换,

未向大致垂直方向进行光路转换的光中至少一部分从所述出射面出射。

2.根据权利要求1所述的光波导,其如下配置:

所述第一芯图案部的位于最接近于所述连接解除面处的一个侧面A和与该侧面位于同侧的第二芯图案部的一个侧面B不在同一平面上,该侧面B相比从下部包覆层法线方向观察时所述光路转换镜的所述倾斜面与其他面所形成的棱线和侧面进行交叉的交点位于出射面侧,

并且,所述侧面A与所述约束解除面的交线比侧面B更位于所述光路转换镜侧。

3.根据权利要求1或2所述的光波导,进一步具有光路转换镜构件,所述光路转换镜在光路转换镜构件上构成,所述光路转换镜构件是截面为三角形或多边形的棱柱,

在截面为多边形时,所述光路转换镜构件具有与所述下部包覆层所形成的平面平行的上表面,

具有与所述下部包覆层所形成的平面大致平行的下表面,并且与所述入射面最近的面大致垂直于所述下部包覆层所形成的平面。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的光波导,其如下配置:所述光路转换镜的至少一部分在所述第一芯图案部的一个侧面的延长线上和所述第二芯图案部的一个侧面的延长线上重合。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的光波导,所述第一芯图案部与所述第二芯图案部进行了光学连接,

所述光路转换镜被配置成所述倾斜面与其他面所形成的棱线比所述约束解除面更位于出射面侧。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的光波导,所述光路转换镜与所述第二芯图案部进行了物理连接。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的光波导,所述约束解除面中的所述第一芯图案部的截面积比所述第二芯图案的出射面的截面积大。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的光波导,在所述下部包覆层上进一步具有以被覆所述芯和所述光路转换镜构件的至少一部分的方式设置的上部包覆层。

9.根据权利要求8所述的光波导,所述上部包覆层设有开口部,以便至少使所述光路转换镜构件的至少一部分与折射率比该光路转换镜构件小的材质接触。

10.一种光组件,其具有:

所述权利要求1~9中任一项所述的光波导、

向所述入射面入射光的发光元件、

接受通过所述光路转换镜进行了光路转换的光的至少一部分的监控受光元件、和

接受从所述出射面出射的光的受光元件。

11.一种光波导的制造方法,其是所述权利要求1~9中任一项所述的光波导的制造方法,具有如下工序:

在所述下部包覆层上形成至少一个具有倾斜面的光路转换镜构件的第一工序,

形成所述第一芯图案部并以被覆所述光路转换镜构件的所述倾斜面的一部分的方式形成第二芯图案部的第二工序。

12.根据权利要求11所述的光波导的制造方法,在所述第二工序中,以埋设所述光路转换镜构件的方式层叠芯图案形成用树脂后,去除所述倾斜面上的至少一部分芯图案形成用树脂,从而形成光路转换镜。

13.根据权利要求11或12所述的光波导的制造方法,进一步具有以埋设所述芯的至少一部分的方式形成上部包覆层、接着在所述光路转换镜上设置开口部的第三工序。

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