用于在激光脉冲装置中折叠光路的折返光学系统的制作方法

本发明涉及一种用于在激光脉冲装置中折叠光路的折返光学系统，所述折返光学系统包括至少两个分别具有一个平坦的镜面的镜元件。所述镜元件由保持装置通过力锁合这样在空间上固定，使得镜面相对于彼此设置在预先规定的角度中。此外，本发明涉及一种激光脉冲装置，所述激光脉冲装置包括光学元件的布置结构，所述光学元件特别是棱镜、光栅和/或色散镜，所述激光脉冲装置具有至少一个这样的折返光学系统。

背景技术：

开头所提类型的折返光学系统是普遍由现有技术中已知的并且用于在多种光学应用中折叠光线或者激光射线的光路。这种折返光学系统通常对于调校误差特别敏感，从而证实是有利的是，这样来限制要调校的自由度的数量，即，借助于共同的保持装置以相对于彼此预先规定的定向在空间上固定引导光路必需的光学元件，例如镜元件、分光镜、棱镜或者类似的元件，。

因此例如由EP1687876Bl中已知一种用于激光脉冲压缩机的折返光学系统，在该折返光学系统中，至少两个分别具有一个平坦的镜面的镜元件借助于保持装置这样在空间上固定，使得两个镜面相对于彼此设置在预先规定的角中。

此外，例如可以获得用于光学应用的台阶式反射镜，所述台阶式反射镜包括两个分别具有一个平坦的镜面的镜元件。两个镜元件在边缘侧借助于粘合连接这样材料锁合地相互连接，使得各自的镜面相互垂直地设置。利用这种布置结构能以特别简单的方式引起入射的激光射线相对于原本的传播方向不平行地错开地转向。

但特别是在激光应用的高功率领域中证实为不利的是，为了固定光学元件使用包含粘合剂的连接。在这里有问题的是在运行温度下粘合剂和乳化剂、特别是有机连接结构，如碳氢化合物、硅氢烷或者类似物的气体析出，该运行温度在相应地冷却时通常处于室温的范围(20-35℃)内。在具有高峰值强度的激光应用中，与有机连接部的相互作用可能导致有机连接部的分解/电离。因此产生的基团在激光射线中运输到透镜，在那里沉积并且可以引发损害施加在透镜上的涂层的反应。

在借助于模式耦合的超短脉冲激光器产生脉冲的激光时，通常由设置在谐振器内的光学元件导致的正常或者正色散引起脉冲拓宽，这种脉冲拓宽必须由其他的光学元件的布置结构、也称为激光脉冲压缩机来补偿。在一些应用中，为了增强激光脉冲还有意地引起时间上的色散(啁啾脉冲放大)，这通过所谓的激光脉冲拉伸机实现。为了接下来压缩激光脉冲，由现有技术中已知棱镜、光栅或色散镜的布置结构，所述布置结构具有至少对于所述产生的激光的光谱范围有效的反向的色散，从而在理想情况中这样抵消脉冲拓宽，使得提供具有最小的持续时间的脉冲。

当然，由光学元件引起的色散通常是与频率相关的。光学元件可以相应地在第一频率范围具有例如负色散，而在第二频率范围具有正色散。在激光脉冲压缩机中使用这种透镜用于缩短激光脉冲的脉冲持续时间要求，抵消之前产生的色散。相应的情况也适用于用作激光脉冲拉伸机的光学布置结构。但是在此应该实现激光脉冲的进一步分散，从而不是补偿可能存在的色散，而是给存在的色散累加地添加相应的色散。因此激光脉冲拉伸机由此具有带有延长脉冲持续时间的色散功能的光学元件的布置结构。

但已经证实的是，在激光脉冲装置中由超短脉冲激光器、如特别是激光脉冲压缩机或激光脉冲拉伸机引导的高强度的激光射线通常与从粘合连接或润滑剂中释放的物质相互作用，这可能由于吸收效应导致所使用的光学元件发生损坏。

原则上由现有技术中还已知用作折返光学系统的反射镜，所述反射镜构造为具有不同几何结构的棱镜。因此例如具有形式为直角等腰三角形的底面的棱镜可以在利用全反射的情况下作为低损失的回射器使用，以便例如实现光路180°的转向。这样的棱镜具有与各个光学应用相匹配的几何尺寸，从而引起剩余的以及待调校的自由度的减少。

但是证实为不利的是，在激光脉冲压缩机内设置用于折叠光路的棱镜，因为已知的光学玻璃、特别是BK7或者石英玻璃在对于高功率超短脉冲激光重要的强度范围中可能已经表现出非线性的吸收，这种吸收由于通过射束轮廓产生的温度梯度引起与位置相关的波阵面干扰和特别是光谱相位的与位置相关的干扰。激光脉冲的光谱相位的非线性干扰相应地导致对通过激光脉冲压缩机能实现最大压缩的限制，从而总体上不再能将激光脉冲压缩到其最小的持续时间。

此外例如由JP2006-337924A中已知，借助于螺钉连接结构力锁合地调校镜元件。在单反相机领域，DE 7 312 689 U公开了一种布置结构，在该布置结构中借助于弹簧将镜元件压向固定在设备上的三点支承。但是这种点支承可能产生较大的在调校时可能导致镜元件损坏的应力。

技术实现要素：

本发明的任务在于，避免现有技术的上述缺点并且提出一种特别是用于激光脉冲装置、如激光脉冲压缩机或者激光脉冲拉伸机的折返光学系统，该折返光学系统能在镜元件的支承结构在基本上没有变形的同时实现简化调校。

本任务通过具有权利要求1特征的折返光学系统得以解决。有利的实施形式和扩展方案在从属权利要求中给出。

用于在激光脉冲装置中折叠光路的折返光学系统，包括至少两个分别具有一个平坦的镜面的镜元件，其中，所述镜元件由保持装置借助于力锁合在空间上固定，使得所述两个镜面相对于彼此设置在预先规定的角度中。根据本发明，所述两个镜元件中的每一个分别沿一个角度器的一个侧面定向，其中，这两个侧面相对于彼此设置在预先规定的角度中。所述角度器用作用于将镜元件与保持装置力锁合地连接的支座。

本发明因此避免了使用用于固定镜元件的粘合剂，由此即使在将折返光学系统用于折叠高强度激光射线的光路时也有效地抑制可能的气体析出。特别是在将折返光学系统用于折叠激光脉冲压缩机或者激光脉冲拉伸机的光路时，即使在产生高强度激光脉冲时，也可以由此确保对功能性的不利影响最小。同时，使固定所述镜元件所需的调校工作最小化，因为由精确制造的角度器预先规定了要设定的、两个镜面应相对于彼此定向的角度。就是说，为了精确地调校这个自由度，将两个平坦的镜元件与起支座作用的角度器的相应侧面力锁合地压紧就足够了。为了力锁合的连接，使用张紧元件、如特别是调节螺钉或类似元件，其中，这样地选择压紧力，使得既确保通过保持装置固定的镜元件的机械稳定性，又使可能出现的机械应力最小化，以便防止出现对这样固定的镜元件的光学特性的不利影响。

为了实现力锁合而作用到相应镜元件上的力可以间接地通过设置在张紧元件与相应镜元件之间的并且构造成面形地构成的弹簧元件传递。弹簧元件这里用于尽可能均匀地将由张紧元件施加到镜元件上的力传递到较大的支承平面上，以便使所出现的应力最小化。此外，特别是对于构造成调节螺钉的张紧元件，弹簧元件防止将固定所需的旋转运动或扭矩传递到镜元件上。这在调校折返光学系统时防止镜元件出现可能的损坏或变形。根据本发明的一个可能的实施例，弹簧元件构造成类似于拱曲的板簧，所述板簧的拱曲部背离镜元件平坦的表面定向。所述拱曲部构造成用于通过变形补偿所使用的材料的不同热膨胀，从而使镜基体中的应力最小化。弹簧元件优选设置成，使得由张紧元件施加到镜元件上的力仅在角度器在相对置的侧面上形成支座的区域中作用，以便避免由于弯曲或扭转在镜元件中出现的应力。

优选弹簧元件构造成拱曲的并且设置成，使得所述弹簧元件相对于对镜元件的接触平面具有至少一个凸形延伸的拱曲部。这样的结构用于，通过补偿由于与材料相关的膨胀导致不希望的应力，所述膨胀可以在环境温度变化时出现。

在本发明的一个优选实施形式中，张紧元件、例如前面所述的张紧元件能旋转地绕轴线支承，从而能由张紧元件传递的力的方向是可变的。这使得可以实现张紧元件的精确定向或者说由张紧元件传递到镜元件上的力的精确定向。在理想状态下，张紧元件这样定向，即固定镜元件所需的力准确地沿镜面的法向量的方向作用，以便确保尽可能无变形和无应力的支承。

预先规定的角度优选小于120°、特别是为90°。通常，通过角规预先规定的角度与应使用所述折返光学系统的光学应用场合相匹配。该两个镜面之间的角为90°的布置结构作为回射器使用，在回射器中由折返光学系统反射的激光射线的传播方向与入射的激光射线的原本传播方向相反地定向。在预先规定的角度为90°的实施例中，起支座作用的角度器特别是可以具有矩形或正方形构造的或者直角三角形形状的底面。

当然，在本说明书的范围内，角数据总是包含一定的公差范围，所述公差范围通过制造精度规定。如果考虑镜元件的整个镜面，对于可由角度器预先规定的角度，所述公差范围通常小于1°，理想状态下小于2.5"。相应地，即使表面由于制造公差具有不规则性、弯曲(Verbiegung)或者类似形式的偏差，所述表面也被称为平坦的。该偏差通常在所使用的激光的波长的一小部分的范围中，特别是在波长的八分之一或十分之一的范围中，所述波长一般在100nm到10μm的范围中，特别是最高为3μm。

在本发明的优选的实施例中，角度器由陶瓷、金属或玻璃基体制成，所述玻璃基体相对于机械变形具有很大的坚固性。

此外，将由玻璃、金属或陶瓷制成的基体用作角度器有如下优点，即，基体的侧面可打磨和/或可抛光，这使得能特别精确地规定由侧面的布置形式限定的角度。

角度器有利地由单晶体制成。可以培养具有相应的立体对称性的单晶体、例如具有立方简单晶格的黄铁矿，以便用作用于角度器的基体。分裂的单晶体具有非常平坦的接触面，从而可以特别准确地规定通过这样制成的角度器限定的角度。

在本发明的扩展方案中，在角度器的表面上施加反射涂层。具有反射涂层的表面垂直于各镜元件的两个镜面延伸并因此能实现包括三个反射面的角反射器，该角反射器也被称为角立方反射器。所述反射涂层和镜元件的镜面优选构造成，使得涂层和镜面在由折返光学系统引导的激光射线的波长的范围内中具有特别高的、特别是与偏振无关的反射性。

根据本发明优选的实施例，所述保持装置具有底板和与底板相对设置的保持元件。镜元件设置在底板与保持元件之间并且与这些元件力锁合地连接，其中，所述保持元件在力锁合地固定时用作支座。特别是构造成板形的保持元件用于即使在存在强烈振动的载荷时也防止镜元件移动离开其额定位置。为此，例如保持元件可以额外地具有铣削的槽，所述槽的尺寸与镜元件相对应并且沿垂直于力作用延伸的方向上也防止镜元件滑动。力锁合所述的力例如可以通过已知的张紧元件，如特别是调节螺钉、夹子或类似元件获得并且垂直于由镜面的法向量限定的平面作用。这种配置的突出之处在于，提高的机械稳定性，并且这种配置能实现力锁合固定所需的力的特别均匀的分布，从而可以避免镜元件和其镜面张紧或变形。但是，与底板对置的并且用作支座的保持元件是可选的元件，可以理解的是，根据具体应用在一些情况下，不需要所述元件来确保足够稳定的固定。

特别优选的是，在保持元件与相应镜元件之间设置保持件。保持件与镜元件机械接触并将用于力锁合的连接的力传递到镜元件上。为此，保持件具有适合的造型，根据一个可能的实施例，保持件贴靠在镜元件上的表面构成为半球形。在一个备选的实施例中，贴靠在镜元件上的表面具有平坦的构造。保持件实现了与特别是在调校保持元件时作用的力基本上解耦，由此可以确保低变形地固定镜元件或避免在装配时发生的损坏和由振动引起的镜元件的运动。

保持件和/或保持元件优选弹性地支承，以便确保向镜元件的均匀的力传递并且避免过高的压紧力造成的过载。在一个可能的实施例中，特别是构造成板状的保持元件借助于固定杆固定，所述固定杆通过碟簧组弹性地支承。在另一个实施例中，保持件构造成销栓形的并弹性支承在保持元件的凹口中。为此特别是使用螺旋弹簧。

在任何情况下都要实现对作用到镜元件上的力的缓冲，以便避免镜元件的变形并因此避免折返光学系统的光行差。

优选向保持装置的底板中引入至少一个缝隙，该缝隙平行于底板的底面延伸并且造构成，使得能通过沿垂直于底板的底面延伸的方向作用到底板上的力实现镜元件绕第一翻转轴线的翻转。因此，这样构成的保持装置使得能够对一些自由度实现微调，特别是实现通过保持装置固定的镜元件在小的角度范围上的微调，而不必为此设置活节。为了压紧底板所需的力例如可通过夹子、调节螺钉或类似元件提供，从而以高机械刚性实现小的角度范围上的摆动。使用润滑剂不是必需的。

在本发明的扩展方案中设定，向保持装置的底板中引入另一个缝隙，该缝隙平行于底板的底面延伸并且构造成，使得可通过沿垂直于底板的底面延伸的方向作用到底板上的力作用实现镜元件的绕第二翻转轴线的翻转。这使得能更为精确地调校镜元件，从而能精确地预先规定激光射线的光路。

两个引入底板中的缝隙特别优选沿不同方向延伸，使得第一和第二翻转轴线相对于彼此垂直地延伸。这样的配置能实现微调对于多数几何尺寸的决定性的自由度。

底板适宜地具有适于使固定在其上的布置结构翻转的柔性。

底板优选由金属制成。

在本发明的扩展方案中设定，底板平坦的上侧相对于底板的与上侧相对置的平坦的下侧以不等于零的角度延伸。因为镜元件构造在底板的上侧上，这种结构能实现角度偏差的规定值，以便根据相应的光学应用将调校耗费最小化。此外，在适当地适配所述角度偏差时，底板的固定和因此微调镜元件的定向可以通过调节螺钉或类似元件来进行，从而为了完整覆盖必要的调节范围，现在可以只沿一个方向进行角度适配。这证实是有利的，因为这样的调节可能性可以消除或至少减小在零点位置附近的螺纹间隙的影响。

在具有相对于彼此平行延伸的上侧和下侧的底板结构中，调节螺钉的螺纹间隙总体上更为明显，因为通常需要对调节螺钉进行双向调校。然而，这样的结构有如下优点，即，保持装置在零点位置中基本上无应力地支承并且因此防止由螺栓连接的蠕变引起镜元件定向的偏移。

在本发明的扩展方案中设定，设置另一个垂直于上述保持元件延伸的保持元件，所述另一个保持元件对镜元件中的任一个形成侧面的止挡或侧面的限制。这样的布置结构构造成，即使在强烈的振动时也有效防止镜元件的移动。

激光脉冲装置包括光学元件、特别是棱镜、光栅和/或色散镜的布置结构，根据发明该激光脉冲装置包括至少一个上述折返光学系统。折返光学系统设置用于引导激光射线通过光学元件的布置结构。

优选光学元件的布置结构设置在两个折返光学系统之间。这能实现激光脉冲应用特别紧凑的结构，其中，必要时在通过折返光学系统折叠光路时可以实现高度差。

折返光学系统的保持装置优选能平行于激光射线的传播方向移动地支承，以便能实现微调。由此特别是可以调整激光脉冲压缩机或激光脉冲拉伸机的长度。

具有光学元件、如特别是棱镜、光栅和/或色散镜的布置结构的、具有缩短激光脉冲的脉冲持续时间的色散作用的激光脉冲装置被称为激光脉冲压缩机。

激光脉冲压缩机的光学元件的布置结构具有用于压缩激光脉冲的色散作用，所述色散作用反作用于存在于激光脉冲包含的模式的至少一个光谱范围中的色散作用。本发明设定，激光脉冲压缩机具有至少一个根据本发明的用于折叠光路的折返光学系统。由此，可以使对激光脉冲压缩机的功能性的不利影响最小化，特别是可以抵消由气体析出引起的干扰效果。

通常，在1μm左右的光谱范围中在介电的介质中出现正材料色散，所述材料色散可以通过具有负色散的激光压缩机来补偿。这样的布置结构是已知的，特别是已知包括介电的色散镜或光栅的布置结构的棱镜压缩机或激光脉冲压缩机。

此外，在光学纤维中出现波导色散，该波导色散可能会改变待补偿的总色散。

但是，根据激光射线的频率，光学元件同样可以引起负色散，负色散相应地通过包括具有有效正色散的光学元件的布置结构的激光脉冲压缩机来补偿。

折返光学系统的保持装置优选平行于入射的激光射线的传播方向可移动地支承，以便实现对激光脉冲压缩机的长度的调节。

这里设定，将折返光学系统的镜元件构成为介电的反射镜。这样构成的镜子具有多个折射率不同的彼此重叠的层并且可以构造成，使得其对于规定的波长具有特别高的反射率。在本发明的扩展方案中规定，所述介电的反射镜构造成，使得所述反射镜对于包含在激光脉冲中的模式的至少一个光谱范围具有适合的色散，从而所述反射镜本身可以用于激光压缩。因为通过介电的反射镜能实现的负色散效应总体上小于能通过特别是光栅的布置结构实现的效果，适宜的是，介电的反射镜仅设置为用于相移的微调。

在一个备选的实施例中，激光脉冲装置构成为激光脉冲拉伸机，该激光脉冲拉伸机包括光学元件，如特别是棱镜、光栅和/或色散镜的相应布置结构，该布置结构具有延长激光脉冲的脉冲持续时间的色散作用。

附图说明

下面借助对实施例的说明以及参考示意性附图还在其他特征和优点方面来详细解释本发明。附图中：

图1示出根据本发明的第一实施例的具有两个彼此垂直设置的镜面的折返光学系统的透视图，

图2示出根据第一实施例的折返光学系统的细节透视图，

图3用示意性剖视图示出折返光学系统的底板的细节图，

图4示出备选的固定机构的示意性侧视图，所述固定机构包括弹性地支承的保持元件，以及

图5示出根据第二实施例的折返光学系统的透视图，该折返光学系统构成为角立方反射器，

图6示出根据备选的实施例的折返光学系统的底板的细节图。

具体实施方式

彼此对应的部件在所有附图中设有相同的附图标记。

图1示出根据第一实施例的折返光学系统1的透视图，该折返光学系统特别是适合于激光脉冲压缩机或者激光脉冲拉伸机。所述折返光学系统1包括具有底板3、固定杆4和保持元件5的保持装置2。

所述保持装置2用于力锁合地固定设置在底板3和保持元件5之间的镜元件6，属于镜元件的镜面7彼此成直角地设置并且因此配置为角反射器。

为了精确地规定存在于两个镜面7之间的能预先规定的角度，该角度在示例性示出的实施方式中为90°，设置有角度器8，该角度器由具有精确打磨和抛光的侧面的玻璃基体制成，镜元件6的镜面7贴靠在所述侧面上。相应地由角度器8的侧面的布置形式规定两个镜面7相对于彼此设置的角度。

根据一个备选的实施例，角度器8由精确打磨和抛光的金属基体、特别是钢制成。

角度器8在图1中示出的实施例中具有正方形的底面，所述角度器在力锁合地固定镜元件6时对借助于张紧元件9施加的力起支座的作用，所述张紧元件在这里构造为调节螺钉。保持装置2的止挡10在与相应张紧元件9相对置的侧面上限制角度器8的移动。

张紧元件9相对于底板3可旋转地支承。借助于张紧元件9的转动可以准确地调节由张紧元件9向镜元件6施加的力的方向。由此可以使所出现的应力最小化，以便避免在折返光学系统中的成像误差。

在镜元件6与张紧元件9之间设置有拱曲的弹簧元件11，该弹簧元件的拱曲部远离镜元件6指向(该拱曲部在图1中不可见)。所述弹簧元件11确保，在调校保持装置2时调节螺钉9必要的旋转运动不会传递到镜元件6上。此外，弹簧元件11抵消镜元件6可能的变形。此外，弹簧元件11的弹簧作用和面状的构造能实现由张紧元件9施加的力特别均匀的分布，从而确保镜元件6的几乎无应力的固定。固定杆4在其上端部具有螺纹，该螺纹用于通过螺母12固定板状的保持元件5。保持元件5具有两个凹口，保持件13旋入所述凹口中。所述保持件13通过未详细示出的螺旋弹簧弹性支承并且与镜元件6机械接触。弹性地支承的保持件13特别是在机械地固定保持元件5时使得镜元件6的张力或变形最小化。

在一个备选的实施例中，向保持元件5中引入槽，所述槽用于容纳相应的镜元件6。在此，空间尺寸这样与镜元件适配，使得即使在强烈的振动时也能抵消镜元件6的沿垂直于力锁合的力作用延伸的方向的移动。

在一个备选的并且未详细示出的实施例中，设有另外的保持元件，所述保持元件垂直于保持元件5延伸并且形成对镜元件6的侧面的限制。所述另外的保持元件因此对于镜元件6形成侧面的止挡，从而镜元件6即使在强烈振动的运输和运行条件下也不会滑动。

保持装置2的底板3具有两个相互平行设置的缝隙14、15，所述缝隙限定两个相互垂直延伸的翻转轴线16、17。这里，通过缝隙14实现的第一翻转轴线16基本上平行于空间方向Y延伸，而通过缝隙15实现的第二翻转轴线17平行于空间方向X延伸。通过到底板3上的平行于空间方向Z的适合的力作用可以实现由保持装置2固定的镜元件6的微调所需的翻转，其中，可以例如通过未详细示出的夹子或类似元件获得为此必需的力作用。底板3在示出的实施例中由金属制成并且具有适于翻转的柔性。坐标空间参考具有标准内积的三维欧几里得空间(R³)。

图2用细节透视图中示出根据第一实施例的折返光学系统1的下部。特别是示出在底板3上可旋转地支承的张紧元件9，所述张紧元件设定为用于沿横向力锁合地固定镜元件6。为此所需的力可间接通过在其之间设置的弹簧元件11传递到相应镜元件6上，所述弹簧元件在无力状态下有轻微拱曲的构造，但是在力锁合后可以几乎平面地贴靠在相应的镜元件6上。在力锁合的固定时，角度器8用作支座，该支座由此规定两个镜面7相互间的相对定向。

在一个备选的实施例中，张紧元件9是固定的。

底板3具有两个缝隙14、15，该缝隙分别包括具有提高的间隙宽度的区段，所述间隙宽度规定翻转轴线16、17。

图3示例性示出底板3的具有缝隙14的局部和适于使底板3翻转的机构，所述机构包括调节螺钉21和固定螺钉22。力可通过所述调节螺钉21这样地传递到底板3的通过缝隙14形成的部分区段23、24上，从而两个部分区段23、24可以相对于彼此翻转一个翻转角。在翻转后，所设定的翻转角可借助于固定螺钉22固定，固定螺钉为了固定布置结构嵌入引入到底板3中的相应螺纹孔中。

调节螺钉21在示出的例子中有半球形的压力端部，该压力端部压到垫片26上，该垫片例如由玻璃或者蓝宝石制成并且嵌入底板3中。

图4示出用于通过保持装置24力锁合地固定镜元件6的备选固定可能性。示出的是保持装置2的上部，该部分包括保持元件5、保持件13和固定杆4。保持件13在在这里示出的例子中有半球形的构造。与在图1中示出的实施形式不同，保持件13与保持元件5刚性地连接，但是该保持元件借助于另外的弹簧元件25弹性地支承在固定杆4上，该弹簧元件构造成碟簧组，或根据一个备选的实施方式构造成螺旋形的压缩弹簧。

图5示出折返光学系统1的第二实施例的透视图，该折返光学系统构造为角立方(corner-cube)反射器。但是，在图5中示出的实施例的主要组成部分与第一实施例的主要组成部分相同，因此可以参阅与其相关的说明。特别是可以相应地利用已经参考图1至4解释的固定机构实现机械地固定镜元件6。所以以下仅说明不同之处。

除了镜元件6的矩形配置，在图5中示出的实施例的不同仅在于，用于规定角度的并且由玻璃基体制成角度器8具有反射涂层18。因此，涂层的角度器8在折叠光路时用作反射镜。通过相对于彼此分别以直角设置的反射面7、18的布置结构得到角反射器，所述角反射器同样被称为角立方反射器并且可以这样地反射入射的激光射线19，从而由折返光学系统1反射的激光射线20与原本的传播方向相反地定向并且平行于原本的传播方向错开地分布。

在本发明的一个备选的实施例中设置有三个相同尺寸的镜元件6，这些镜元件按在图5中示出的角立方反射器几何结构设置，其中，三个镜元件6分别具有一个正方形的镜面。

通过避免使用粘合剂或者润滑剂，在各实施例中示出的具有力锁合地固定的镜元件6的折返光学系统1特别适于与高强度激光脉冲结合使用，如特别是在超短波脉冲激光系统中出现的激光脉冲。

图6用透视图示出根据一个备选的实施例的底板3。与图3中示出的布置结构不同，底板3承载镜元件6的光学结构的上侧27在这里不平行于底板3的相对置的下侧28延伸。

下侧28在图6中示例性地示出的布置结构中平行于XY平面延伸，该平面由空间方向X和空间方向Y限定。上侧27在相对于XY平面略微偏转的平面中延伸，其中，旋转轴线在示出的例子中平行于空间方向Y延伸。所述上侧27相对于底板3的下侧28以角度α延伸，其中，角度α根据优选的实施方式为少数几度、特别是小于2°。

角度α用于规定角度偏差，以便使镜元件6的调校与光学应用最佳地适配。角度偏差适合的规定值特别是能实现，部分区段23、24的调校所需的偏转可以绕翻转轴线16、17沿一个方向进行，从而消除用于偏转的调节螺钉21的可能的螺纹间隙。在零点位置附近调校时明显出现这种螺纹间隙，因此也就是在如下布置结构中出现，该布置结构具有底板3，该底板具有相对于彼此平行地延伸的上侧和下侧27、28。

当然，替代在图6中示出的对底板3的上侧27走势的适配，也可以对下侧28进行适配，以便规定由角度α限定的角度偏差。重要的仅是，两个平面、即上侧27和下侧28相对于彼此以角度α延伸。

附图标记列表

1 折返光学系统

2 保持装置

3 底板

4 固定杆

5 保持元件

6 镜元件

7 镜面

8 角度器

9 张紧元件

10 止挡

11 弹簧元件

12 螺母

13 保持件

14 缝隙

15 缝隙

16 翻转轴线

17 翻转轴线

18 涂层

19 入射的激光射线

20 经反射的激光射线

21 调节螺钉

22 固定螺钉

23 部分区段

24 部分区段

25 弹簧元件

26 垫片

27 上侧

28 下侧

α 角度

X 空间方向

Y 空间方向

Z 空间方向